申请/专利权人：英飞凌科技股份有限公司

申请日：2020-07-24

公开（公告）日：2021-02-09

公开（公告）号：CN112343801A

主分类号：F04B43/04(20060101)

分类号：F04B43/04(20060101);F04B53/10(20060101);F04B49/06(20060101);F04B49/22(20060101)

优先权：["20190806 EP 19190302.0"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.05.24#实质审查的生效;2021.02.09#公开

摘要：一种MEMS泵，包括基部结构，与基部结构相对并可平行于基部结构的表面法线偏转的膜结构，并且包括基部结构和膜结构之间的泵腔，其中，泵腔的容积基于膜结构相对于基部结构的位置。MEMS泵包括通道，该通道被构造成让流体进入泵腔或离开泵腔，其中，通道相对于泵腔布置在平面内。MEMS泵包括阀结构，该阀结构流体耦接到通道，并且被构造成在第一状态下将通道连接到第一外部容积以便将流体提供至泵腔，并且用于在第二状态下将通道连接到第二外部容积以便将流体提供至第二外部容积。

主权项：1.MEMS泵，包括基部结构12；膜结构14，与所述基部结构12相对，并且能够平行于所述基部结构12的表面法线N偏转；泵腔16，在所述基部结构12和所述膜结构14之间，其中所述泵腔16的容积基于所述膜结构14相对于所述基部结构12的位置；通道18，被构造成使流体22进入所述泵腔16或离开所述泵腔16，其中所述通道18相对于所述泵腔16布置在平面内；和阀结构28，流体耦接至所述通道18，并且被构造成用于在第一状态下将所述通道18连接至第一外部容积321，以便将所述流体22提供至所述泵腔16，并且用于在第二状态下将所述通道18连接至第二外部容积322，以便将所述流体22提供至所述第二外部容积322。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 英飞凌科技股份有限公司 MEMS泵

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