申请/专利权人：株式会社迪思科

申请日：2020-08-06

公开（公告）日：2021-02-09

公开（公告）号：CN112349605A

主分类号：H01L21/56(20060101)

分类号：H01L21/56(20060101);H01L21/67(20060101)

优先权：["20190807 JP 2019-145351"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.08.05#实质审查的生效;2021.02.09#公开

摘要：提供保护部件形成装置，在按压液状树脂而使其扩展时，判定该液状树脂是否扩展到规定的范围。保护部件形成装置在树脂膜上层叠紫外线硬化型的液状树脂和覆盖片而在基板的正面上形成保护部件，具有：液状树脂提供单元，其向与基板密接的树脂膜上提供液状树脂；以及按压单元，其具有平坦且具有透光性的按压面，隔着覆盖片而利用按压面按压液状树脂，使液状树脂在树脂膜上扩展；紫外线照射单元，其向液状树脂照射紫外线而使其硬化；以及判定单元，其判定被扩展的液状树脂的状态，判定单元具有：照相机，其拍摄液状树脂和基板；以及判定部，其根据照相机拍摄而得到的图像来检测液状树脂和基板，判定液状树脂是否扩展到以基板为基准的规定的范围。

主权项：1.一种保护部件形成装置，其在树脂膜上层叠紫外线硬化型的液状树脂和覆盖片而在正面具有凹凸的基板的该正面上形成比该正面平坦的保护部件，该树脂膜比该基板大并且与该基板的该正面以仿照该凹凸的方式密接，其特征在于，该保护部件形成装置具有：支承工作台，其对在该正面上密接有该树脂膜的该基板进行支承；液状树脂提供单元，其向与该支承工作台所支承的该基板密接的该树脂膜上提供该液状树脂；按压单元，其具有能够保持该覆盖片的平坦且具有透光性的按压面，该按压单元隔着由该按压面保持的该覆盖片而利用该按压面按压提供到该树脂膜上的该液状树脂，使该液状树脂在该树脂膜上扩展；紫外线照射单元，其隔着该按压面和该覆盖片向该液状树脂照射紫外线而使该液状树脂硬化，形成包含该树脂膜、硬化后的该液状树脂以及该覆盖片的该保护部件；以及判定单元，其判定被该按压单元扩展的该液状树脂的状态，该判定单元具有：照相机，其隔着该按压单元的该按压面从上方拍摄该液状树脂和该基板；判定部，其根据该照相机拍摄而得到的图像来检测该液状树脂和该基板，判定该液状树脂是否扩展到以该基板为基准的规定的范围；以及通知部，其通知该判定部的判定结果。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社迪思科 保护部件形成装置

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