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【发明公布】保护部件形成方法和保护部件形成装置_株式会社迪思科_202010782702.5 

申请/专利权人:株式会社迪思科

申请日:2020-08-06

公开(公告)日:2021-02-09

公开(公告)号:CN112349606A

主分类号:H01L21/56(20060101)

分类号:H01L21/56(20060101)

优先权:["20190807 JP 2019-145350"]

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2022.08.05#实质审查的生效;2021.02.09#公开

摘要:提供保护部件形成方法和保护部件形成装置,在正面具有凹凸的基板的正面上形成包含硬化的液状树脂的保护部件时,抑制液状树脂的不均的产生。在正面具有凹凸的基板的正面上形成保护部件的保护部件形成方法具有如下的步骤:树脂膜密接步骤,利用树脂膜覆盖基板的正面,使树脂膜以仿照基板的正面的凹凸的方式与基板密接;液状树脂提供步骤,向与基板密接的树脂膜的上表面的与基板重叠的区域提供能够硬化的液状树脂;按压步骤,隔着覆盖膜而利用平坦的按压面按压液状树脂,使液状树脂在树脂膜上扩展;以及硬化步骤,使在按压步骤中在树脂膜上扩展的液状树脂硬化,从而在基板的正面上形成包含树脂膜、硬化后的液状树脂以及覆盖膜的保护部件。

主权项:1.一种保护部件形成方法,在正面具有凹凸的基板的该正面上形成保护部件,其特征在于,该保护部件形成方法具有如下的步骤:树脂膜密接步骤,利用树脂膜覆盖该基板的该正面,使该树脂膜以仿照该基板的该正面的该凹凸的方式与该基板密接;液状树脂提供步骤,向与该基板密接的该树脂膜的上表面的与该基板重叠的区域提供能够硬化的液状树脂;按压步骤,利用覆盖膜覆盖被提供到该树脂膜的该上表面的该液状树脂,隔着该覆盖膜而利用平坦的按压面按压该液状树脂,使该液状树脂在该树脂膜上扩展;以及硬化步骤,使在该按压步骤中在该树脂膜上扩展的该液状树脂硬化,从而在该基板的该正面上形成包含该树脂膜、硬化后的该液状树脂以及该覆盖膜的保护部件。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 株式会社迪思科 保护部件形成方法和保护部件形成装置

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