申请/专利权人：佳能特机株式会社

申请日：2020-08-07

公开（公告）日：2021-02-09

公开（公告）号：CN112342519A

主分类号：C23C14/56(20060101)

分类号：C23C14/56(20060101);C23C14/24(20060101);C23C14/04(20060101);C23C14/34(20060101);C23C14/54(20060101);H01L51/56(20060101)

优先权：["20190809 KR 10-2019-0097867"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.09.22#授权;2022.08.16#实质审查的生效;2021.02.09#公开

摘要：本发明提供成膜系统、成膜系统的异常部位判别方法及计算机可读取的存储介质。本发明的成膜系统具有用于隔着掩模对基板进行成膜的成膜装置和用于向所述成膜装置搬送基板或掩模的搬送装置，其特征在于，包括：存储部件，用于存储与所述成膜装置的动作以及所述搬送装置的动作中的至少一个相关联的至少一个动作参数；以及判别部件，基于存储于所述存储部件的所述至少一个动作参数，判别所述搬送装置和或所述成膜装置的异常部位。

主权项：1.一种成膜系统，其具有用于隔着掩模对基板进行成膜的成膜装置和用于向所述成膜装置搬送基板或掩模的搬送装置，其特征在于，该成膜系统包括：存储部件，用于存储与所述成膜装置的动作以及所述搬送装置的动作中的至少一个相关联的至少一个动作参数；以及判别部件，基于存储在所述存储部件中的所述至少一个动作参数，判别所述搬送装置和或所述成膜装置的异常部位。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 佳能特机株式会社 成膜系统、成膜系统的异常部位判别方法及计算机可读取的存储介质

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