申请/专利权人：周星工程股份有限公司

申请日：2019-06-24

公开（公告）日：2021-02-09

公开（公告）号：CN112352308A

主分类号：H01L21/687(20060101)

分类号：H01L21/687(20060101);H01L21/67(20060101);H01L21/02(20060101)

优先权：["20180625 KR 10-2018-0072683"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.06.11#实质审查的生效;2021.02.09#公开

摘要：根据一个实施方式的基板处理装置包括：处理腔室，所述处理腔室包括用来安装至少一个基板的反应空间；转移腔室，所述转移腔室用来将所述至少一个基板转移至所述处理腔室；以及缓冲腔室，所述缓冲腔室包括用来将所述至少一个基板旋转预定角度的旋转装置，其中所述旋转装置包括：旋转板；用来将所述旋转板旋转预定角度的旋转轴；用来驱动所述旋转轴的驱动单元；用来控制所述驱动单元的控制器；以及多个基板支撑构件，所述多个基板支撑构件设置在所述旋转板上，并且所述至少一个基板安装在所述多个基板支撑构件上。

主权项：1.一种基板处理设备，包括：处理腔室，所述处理腔室包括用来安装至少一个基板的反应空间；转移腔室，所述转移腔室用来将所述至少一个基板转移至所述处理腔室；以及缓冲腔室，所述缓冲腔室包括用来将所述至少一个基板旋转预定角度的旋转装置，其中所述旋转装置包括：旋转板；用来将所述旋转板旋转预定角度的旋转轴；用来驱动所述旋转轴的驱动单元；用来控制所述驱动单元的控制器；以及多个基板支撑构件，所述多个基板支撑构件设置在所述旋转板上，并且所述至少一个基板安装在所述多个基板支撑构件上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 周星工程股份有限公司 基板处理设备和基板处理方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD