申请/专利权人：南京深光科技有限公司

申请日：2020-10-20

公开（公告）日：2021-02-09

公开（公告）号：CN112346307A

主分类号：G03F9/00(20060101)

分类号：G03F9/00(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.09.23#授权;2021.03.02#实质审查的生效;2021.02.09#公开

摘要：本发明属于半导体生产技术领域，尤其是涉及一种掩膜版自动辅助夹具，包括连接座，连接座的侧壁上固定连接有多根支撑柱，支撑柱上设有夹紧机构，连接座与支撑柱内均设有空腔且相互连通，连接座上固定连接有连接柱，连接柱内设有用于配合夹紧机构的往复机构，连接柱上设有转动机构，连接柱的一侧设有用于配合转动机构的升降机构。优点在于：本发明可在对掩膜版就行清洗时具有良好的夹紧作用，同时不会使其出现受力不均匀或夹持过度而导致损伤的效果，同时可在完成清洗后将其自动的提升出清洗的区域，方便操作人员拿取，进一步降低其出现误操作的可能性。

主权项：1.一种掩膜版自动辅助夹具，包括连接座1，其特征在于，所述连接座1的侧壁上固定连接有多根支撑柱2，所述支撑柱2上设有夹紧机构3，所述连接座1与支撑柱2内均设有空腔且相互连通，所述连接座1上固定连接有连接柱4，所述连接柱4内设有用于配合夹紧机构3的往复机构5，所述连接柱4上设有转动机构6，所述连接柱4的一侧设有用于配合转动机构6的升降机构7。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 南京深光科技有限公司 一种掩膜版自动辅助夹具

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