申请/专利权人：苏州易锐光电科技有限公司

申请日：2020-11-26

公开（公告）日：2021-02-09

公开（公告）号：CN112346263A

主分类号：G02F1/01(20060101)

分类号：G02F1/01(20060101);G02F1/03(20060101);G02F1/035(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.03.02#实质审查的生效;2021.02.09#公开

摘要：本发明涉及一种布拉格光栅芯片，其包括单晶硅基板、设置在单晶硅基板上的二氧化硅层、设置在二氧化硅层上的布拉格光栅、以及设置在布拉格光栅上的负热光系数材料，布拉格光栅上设置负热光系数材料，以此消除基于铌酸锂晶体的布拉格光栅对温度的敏感性，使得布拉格光栅芯片的反射谱中心波长在环境温度变化1k的漂移量基本为零，从而可实现由铌酸锂布拉格光栅构成的光滤波器、激光器等光电器件的光谱响应对温度变化不敏感。

主权项：1.一种布拉格光栅芯片，其特征在于，所述布拉格光栅芯片包括单晶硅基板、设置在所述单晶硅基板上的二氧化硅层、设置在所述二氧化硅层上的布拉格光栅、以及设置在所述布拉格光栅上的负热光系数材料，所述布拉格光栅芯片的反射谱中心波长在环境温度变化1k的漂移量基本为零。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州易锐光电科技有限公司 布拉格光栅芯片

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