申请/专利权人：日商光电魂股份有限公司

申请日：2020-05-08

公开（公告）日：2021-02-09

公开（公告）号：CN112352300A

主分类号：H01J37/073(20060101)

分类号：H01J37/073(20060101)

优先权：["20190610 JP 2019-108154"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.03.02#实质审查的生效;2021.02.09#公开

摘要：本发明的课题在于提供一种仅以电子枪所具备的构成就能够直接监视从光电阴极所发射的电子束的强度的电子枪、搭载有电子枪的电子射线应用装置以及电子枪的控制方法。为解决上述课题，本发明的电子枪包括：光源；光电阴极，因应来自光源的受光而发射电子束；阳极；电子束遮蔽构件，可遮蔽电子束的一部分；及测量部，使用通过电子束遮蔽构件所遮蔽的测量用电子束，而测量从光电阴极所发射的电子束的强度。

主权项：1.一种电子枪，包括：光源；光电阴极，因应来自光源的受光而发射电子束；阳极；电子束遮蔽构件，可遮蔽电子束的一部分；及测量部，使用通过电子束遮蔽构件所遮蔽的测量用电子束，而测量从光电阴极所发射的电子束的强度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 日商光电魂股份有限公司 电子枪、电子射线应用装置以及电子枪的控制方法

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