申请/专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司

申请日：2018-09-28

公开（公告）日：2021-02-09

公开（公告）号：CN109285455B

主分类号：G09F9/30(20060101)

分类号：G09F9/30(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.02.09#授权;2019.03.01#实质审查的生效;2019.01.29#公开

摘要：本发明公开了一种柔性显示基板的制造方法及制造组件。包括：提供刚性衬底基板、柔性衬底基板和保护膜，刚性衬底基板的一面上设置有第一卡合结构，保护膜具有相对设置的第一面和第二面，第一面上设置有第二卡合结构；将保护膜的第二面通过非胶粘的方式贴附在柔性衬底基板上；通过卡接第一卡合结构与第二卡合结构，使柔性衬底基板固定设置在刚性衬底基板上；在柔性衬底基板远离刚性衬底基板的一面上制备柔性发光器件；将柔性衬底基板与保护膜的第二面分离，得到柔性显示基板。由于保护膜通过非胶粘的方式贴附在柔性衬底基板上，柔性衬底基板与保护膜的分离时无需加热，因此可以避免柔性发光器件的损坏，提高了柔性显示基板的制造可靠性。

主权项：1.一种柔性显示基板的制造方法，其特征在于，所述方法包括：提供刚性衬底基板、柔性衬底基板和保护膜，所述刚性衬底基板的一面上设置有第一卡合结构，所述保护膜具有相对的第一面和第二面，所述第一面上设置有第二卡合结构；将所述保护膜的第二面通过静电吸附或磁力吸附的方式贴附在所述柔性衬底基板上；通过卡接所述第一卡合结构与所述第二卡合结构，使所述柔性衬底基板固定设置在所述刚性衬底基板上；所述第一卡合结构与所述第二卡合结构均为榫卯结构；在所述柔性衬底基板远离所述刚性衬底基板的一面上制备柔性发光器件；将所述柔性衬底基板与所述保护膜的第二面分离，得到柔性显示基板。

全文数据：柔性显示基板的制造方法及制造组件技术领域本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种柔性显示基板的制造方法及制造组件。背景技术柔性显示基板包括柔性衬底基板和设置在柔性衬底基板上的柔性发光器件。其中，柔性衬底基板通常采用厚度小于100微米的柔性基材制备得到。由于柔性衬底基板存在易碎或变形等问题，因此在柔性显示基板的制造过程中，通常将柔性衬底基板与刚性衬底基板贴合后，再在柔性衬底基板上制备柔性发光器件。在柔性衬底基板上完成柔性发光器件的制备后，剥离刚性衬底基板，以得到柔性显示基板。相关技术中，通常在柔性衬底基板和刚性衬底基板之间设置粘结层，通过粘结层实现柔性衬底基板与刚性衬底基板的固定贴合。在完成柔性发光器件的制备后，对刚性衬底基板进行加热使粘结层表面的粘性材料失效，以剥离刚性衬底基板。但是，对刚性衬底基板加热的过程中，易损坏柔性发光器件，因此相关技术中柔性显示基板的制造可靠性较低。发明内容本发明实施例提供了一种柔性显示基板的制造方法及制造组件，可以解决相关技术通过粘粘接层实现柔性衬底基板与刚性衬底基板的固定贴合，在剥离刚性衬底基板时需进行加热，使得易损坏柔性发光器件的问题。所述技术方案如下：第一方面，提供了一种柔性显示基板的制造方法，所述方法包括：提供刚性衬底基板、柔性衬底基板和保护膜，所述刚性衬底基板的一面上设置有第一卡合结构，所述保护膜具有相对的第一面和第二面，所述第一面上设置有第二卡合结构；将所述保护膜的第二面通过非胶粘的方式贴附在所述柔性衬底基板上；通过卡接所述第一卡合结构与所述第二卡合结构，使所述柔性衬底基板固定设置在所述刚性衬底基板上；在所述柔性衬底基板远离所述刚性衬底基板的一面上制备柔性发光器件；将所述柔性衬底基板与所述保护膜的第二面分离，得到柔性显示基板。可选的，所述将所述保护膜的第二面通过非胶粘的方式贴附在所述柔性衬底基板上，包括：通过静电吸附的方式将所述保护膜的第二面贴附在所述柔性衬底基板上。可选的，所述第一卡合结构与所述第二卡合结构均为榫卯结构；所述通过卡接所述第一卡合结构与所述第二卡合结构，使所述柔性衬底基板固定设置在所述刚性衬底基板上，包括：通过榫卯连接的方式，将贴附有所述保护膜的柔性衬底基板固定设置在所述刚性衬底基板上。可选的，所述第一卡合结构包括多个第一条形榫头和多个第一条形榫槽，所述第二卡合结构包括多个第二条形榫头和多个第二条形榫槽；所述第一条形榫头的结构与所述第二条形榫槽的结构相匹配，所述第二条形榫头的结构与所述第一条形榫槽的结构相匹配。可选的，所述第一条形榫槽的两端均设置有挡板，所述挡板的高度不大于所述第一条形榫头的高度。可选的，所述第二卡合结构满足以下至少一者：所述第二条形榫头的表面设置有磁性材料；所述第二条形榫槽的内壁设置有磁性材料。可选的，所述第一条形榫头的尺寸与所述第二条形榫槽的尺寸相同；所述第二条形榫头的尺寸与所述第一条形榫槽的尺寸相同。可选的，所述提供保护膜，包括：提供膜层基材；通过构图工艺在所述膜层基材的第一面上形成所述第二卡合结构。可选的，在所述提供保护膜之后，所述方法还包括：制备第二卡合结构；通过粘接剂将所述第二卡合结构固定设置在所述保护膜的第一面上。第二方面，提供了一种柔性显示基板的制造组件，包括：刚性衬底基板和保护膜，所述刚性衬底基板的一面上设置有第一卡合结构，所述保护膜具有相对的第一面和第二面，所述第一面上设置有第二卡合结构；所述保护膜的第二面用于贴附柔性衬底基板；所述刚性衬底基板与所述保护膜通过所述第一卡合结构和所述第二卡合结构可拆卸连接。本发明实施例提供的技术方案带来的有益效果包括：本发明实施例提供的柔性显示基板的制造方法及制造组件，将设置有卡合结构的保护膜贴附在柔性衬底基板上，通过刚性衬底基板上设置的卡合结构与保护膜上的卡合结构的卡接作用，使得柔性衬底基板固定设置在刚性衬底基板上，进而在柔性衬底基板远离刚性衬底基板的一面上制备柔性发光器件，待柔性发光器件制备完成后，将柔性衬底基板与保护膜分离，得到柔性显示基板。在本发明实施例中，由于柔性衬底基板与保护膜之间通过非胶粘的方式贴合，在柔性衬底基板与保护膜的分离过程中无需加热，因此可以避免柔性发光器件的损坏，进而提高了柔性显示基板的制造可靠性。附图说明图1是本发明实施例提供的一种柔性显示基板的制造方法的流程图；图2是本发明实施例提供的另一种柔性显示基板的制造方法的流程图；图3是本发明实施例提供的一种刚性衬底基板的结构示意图；图4是本发明实施例提供的一种保护膜的结构示意图；图5是图3所示的刚性衬底基板的结构俯视图；图6是图4所示的保护膜的结构仰视图；图7是本发明实施例提供的贴附有保护膜的柔性衬底基板的结构示意图；图8是本发明实施例提供的将图7所示的贴附有保护膜的柔性衬底基板固定设置在图3所示的刚性衬底基板上的结构示意图。具体实施方式为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明实施方式作进一步地详细描述。图1是本发明实施例提供的一种柔性显示基板的制造方法的流程图，如图1所示，该方法包括：步骤101、提供刚性衬底基板、柔性衬底基板和保护膜，刚性衬底基板的一面上设置有第一卡合结构，保护膜具有相对的第一面和第二面，第一面上设置有第二卡合结构。步骤102、将保护膜的第二面通过非胶粘的方式贴附在柔性衬底基板上。步骤103、通过卡接第一卡合结构与第二卡合结构，使柔性衬底基板固定设置在刚性衬底基板上。步骤104、在柔性衬底基板远离刚性衬底基板的一面上制备柔性发光器件。步骤105、将柔性衬底基板与保护膜的第二面分离，得到柔性显示基板。综上所述，本发明实施例提供的柔性显示基板的制造方法，将设置有卡合结构的保护膜贴附在柔性衬底基板上，通过刚性衬底基板上设置的卡合结构与保护膜上的卡合结构的卡接作用，使得柔性衬底基板固定设置在刚性衬底基板上，进而在柔性衬底基板远离刚性衬底基板的一面上制备柔性发光器件，待柔性发光器件制备完成后，将柔性衬底基板与保护膜分离，得到柔性显示基板。在本发明实施例中，由于柔性衬底基板与保护膜之间通过非胶粘的方式贴合，在柔性衬底基板与保护膜的分离过程中无需加热，因此可以避免柔性发光器件的损坏，进而提高了柔性显示基板的制造可靠性。图2是本发明实施例提供的另一种柔性显示基板的制造方法的流程图，如图2所示，该方法包括：步骤201、提供刚性衬底基板、柔性衬底基板和保护膜，刚性衬底基板的一面上设置有第一卡合结构，保护膜具有相对的第一面和第二面，第一面上设置有第二卡合结构。可选的，刚性衬底基板可以由金属材料、玻璃或聚氯乙烯材料制备得到。柔性衬底基板可以由聚碳酸酯Polycarbonate，PC材料、聚酰亚胺Polyimide，PI材料或聚对苯二甲酸乙二醇酯Polyethyleneterephthalate，PET材料等有机材料制备得到，也可以由金属材料制备得到。保护膜可以由PET材料、PI材料或钢化玻璃制备得到，本发明实施例对刚性衬底基板、柔性衬底基板和保护膜的材质均不做限定。其中，保护膜的硬度大于柔性衬底基板的硬度且小于刚性衬底基板的硬度。可选的，第一卡合结构与第二卡合结构均为榫卯结构。示例的，图3是本发明实施例提供的一种刚性衬底基板的结构示意图，如图3所示，刚性衬底基板301的一面上设置有第一卡合结构M，第一卡合结构M包括多个第一条形榫头m1和多个第一条形榫槽m2。图4是本发明实施例提供的一种保护膜的结构示意图，如图4所示，保护膜302上设置有第二卡合结构N，第二卡合结构N包括多个第二条形榫头n1和多个第二条形榫槽n2。参见图3和图4，第一条形榫头m1的结构与第二条形榫槽n2的结构相匹配，第二条形榫头n1的结构与第一条形榫槽m2的结构相匹配。其中，第一条形榫头的结构与第二条形榫槽的结构相匹配，也即是，第一条形榫头的形状和尺寸均与第二条形榫槽的形状和尺寸相匹配；第二条形榫头的结构与第一条形榫槽的结构相匹配，也即是，第二条形榫头的形状和尺寸均与第一条形榫槽的形状和尺寸相匹配。可选的，第一条形榫头的尺寸与第二条形榫槽的尺寸相同；第二条形榫头的尺寸与第一条形榫槽的尺寸相同。可选的，第一条形榫头和第二条形榫槽的纵截面呈矩形，第一条形榫槽和第二条形榫头的纵截面呈矩形；或者，第一条形榫头和第二条形榫槽的纵截面呈三角形，第一条形榫槽和第二条形榫头的纵截面呈三角形；又或者，第一条形榫头和第二条形榫槽的纵截面呈梯形，第一条形榫槽和第二条形榫头的纵截面呈梯形；又或者，第一条形榫头和第二条形榫槽的纵截面呈三角形，第一条形榫槽和第二条形榫头的纵截面呈梯形；又或者，第一条形榫头和第二条形榫槽的纵截面呈梯形，第一条形榫槽和第二条形榫头的纵截面三角形，本发明实施例对此不做限定。示例的，参见图3和图4，第一条形榫头m1和第二条形榫槽n2的纵截面呈矩形，第一条形榫槽m2和第二条形榫头n1的纵截面呈矩形。其中，第一条形榫槽和第一条形榫头的纵截面垂直于多个第一条形榫槽和或多个第一条形榫头的排布方向；第二条形榫槽和第二条形榫头的纵截面垂直于多个第二条形榫槽和或多个第二条形榫头的排布方向。需要说明的是，第一条形榫头的尺寸与第二条形榫槽的尺寸相同和第二条形榫头的尺寸与第一条形榫槽的尺寸相同，也即是，当榫头与榫槽的纵截面呈矩形时，矩形的长和宽均相同；当榫头与榫槽的纵截面呈三角形时，三角形的各边长均对应相同；当榫头与榫槽的纵截面呈梯形时，梯形的各边长均对应相同。可选的，参见图3，第一条形榫槽m2的两端均设置有挡板P，挡板P的高度不大于第一条形榫头m1的高度。示例的，图5是图3所示的刚性衬底基板的结构俯视图，如图5所示，第一卡合结构M包括多个第一条形榫头m1和多个第一条形榫槽m2，第一条形榫槽m2的两端均设置有挡板P。图6是图4所示的保护膜的结构仰视图，如图6所示，第二卡合结构N包括多个第二条形榫头n1和多个第二条形榫槽n2。可选的，第二卡合结构满足以下至少一者：第二条形榫头的表面设置有磁性材料；第二条形榫槽的内壁设置有磁性材料。在本发明的一个可选实施例中，第二卡合结构和保护膜可以是一体结构，相应的，保护膜的制备过程包括：提供膜层基材；通过构图工艺在膜层基材的第一面上形成第二卡合结构。其中，构图工艺包括：光刻胶涂覆、曝光、显影、刻蚀和光刻胶剥离。其中，由于第二卡合结构与保护膜为一体结构，因此第二卡合结构和保护膜的制备材料相同。当保护膜的制备材料为PET材料或PI材料时，可以通过构图工艺制备得到保护膜，或者，也可以通过注塑压印的方式制备得到保护膜，本发明实施例对保护膜的制备工艺不做限定。在本发明的另一个可选实施例中，第二卡合结构与保护膜可以分别制备，相应的，可以将分别制备得到的第二卡合结构和保护膜固定贴合，例如可以通过粘接剂将多个第二卡合结构贴附在保护膜的第一面上。其中，第二卡合结构的制备材料可以与保护膜的制备材料相同，也可以与保护膜的制备材料不同，第二卡合结构的制备材料可以为PET材料或PI材料，也可以为金属。当第二卡合结构的制备材料为PET材料或PI材料时，可以通过注塑压印的方式制备第二卡合结构；当第二卡合结构的制备材料为金属时，可以通过铸造的方式制备第二卡合结构，本发明实施例对第二卡合结构的制备材料和制备工艺均不做限定。步骤202、通过静电吸附的方式将保护膜的第二面贴附在柔性衬底基板上。图7是本发明实施例提供的贴附有保护膜的柔性衬底基板的结构示意图，如图7所示，柔性衬底基板303与保护膜302的第二面贴合设置。需要说明的是，静电吸附是采用物理学原理，当保护膜与柔性衬底基板产生接触时，保护膜与柔性衬底基板之间的空气的压强变小，使大气压强大于保护膜和柔性衬底基板之间的空气的压强，从而产生吸附能力，使得保护膜的第二面能够贴附在柔性衬底基板上。可选的，保护膜的第二面上可以设置有硅胶层，在保护膜的第二面与柔性衬底基板贴合时，由于硅胶层的静电吸附力较强，因此在保护膜与柔性衬底基板的贴附过程中，可以通过静电吸附的方式使硅胶层与柔性衬底基板固定贴合。可选的，柔性衬底基板与保护膜的贴附过程包括：先采用静电刷在保护膜的第二面上均匀刷附静电，再使柔性衬底基板的一端靠近保护膜的第二面，通过静电吸附作用将柔性衬底基板平整地贴附在保护膜的第二面上。可替代的，也可以通过磁力吸附的方式将保护膜的第二面贴附在柔性衬底基板上。例如，可以在柔性衬底基板的边缘位置涂覆一种磁性材料，形成磁性薄膜，并在保护膜的第二面上涂覆另一种磁性材料，其中，保护膜的第二面上涂覆的磁性材料与柔性衬底基板上涂覆的磁性材料的磁性相反，通过两种磁性材料的磁力吸附作用，将柔性衬底基板贴附在保护膜的第二面上。步骤203、通过卡接第一卡合结构与第二卡合结构，使柔性衬底基板固定设置在刚性衬底基板上。可选的，当第一卡合结构和第二卡合结构均为榫卯结构，则可以通过榫卯连接的方式，将贴附有保护膜的柔性衬底基板固定设置在刚性衬底基板上。图8是图7所示的贴附有保护膜的柔性衬底基板与图3所示的刚性衬底基板连接后的结构示意图，如图8所示，通过榫卯连接的方式，将贴附有保护膜302的柔性衬底基板303固定设置在刚性衬底基板301上，也即是，将第一条形榫头设置在第二条形榫槽中并且将第二条形榫头设置在第一条形榫槽中，以使得柔性衬底基板通过保护膜固定设置在刚性衬底基板上。图8中的其他附图标记可参考图3和图7，本发明实施例在此不做赘述。需要说明的是，通过保护膜将刚性衬底基板与柔性衬底基板贴合，一方面刚性衬底基板上的第一条形榫头可以对柔性显示基板起到支撑承载作用；另一方面，参见图8，刚性衬底基板301可以在第一方向X上对柔性衬底基板303起到限位作用，以避免在柔性发光器件的制备过程中，柔性衬底基板与刚性衬底基板之间在第一方向上发生位移，提高柔性发光器件的制备可靠性。可选的，第二条形榫头的表面设置有磁性材料，可以是第二条形榫头与第一条形榫槽的接触面之间设置有磁性材料；第二条形榫槽的内壁设置有磁性材料，可以是第二条形榫槽与第一条形榫头的接触面之间设置有磁性材料。通过在第二条形榫头的表面和或第二条形榫槽的内壁设置磁性材料，参见图8，刚性衬底基板301可以在第二方向Y上对柔性衬底基板303起到限位作用，以避免在柔性发光器件的制备过程中，柔性衬底基板与刚性衬底基板之间在第二方向上发生位移，提高柔性发光器件的制备可靠性。可选的，通过在第一条形榫槽的两端设置挡板，刚性衬底基板可以在第三方向上对柔性衬底基板起到限位作用，以避免在柔性发光器件的制备过程中，柔性衬底基板与刚性衬底基板之间在第三方向上发生位移，提高柔性发光器件的制备可靠性。其中，第三方向垂直于第一方向且垂直于第二方向。可选的，当刚性衬底基板由金属材料制备得到时，可在第二卡合结构的第二条形榫头的表面设置磁性材料和或在第二条形榫槽的内壁设置磁性材料，保护膜和刚性衬底基板可通过磁性材料的磁力吸附作用固定贴合。当刚性衬底基板由玻璃或聚氯乙烯材料制备得到时，可在第二卡合结构的第二条形榫头的表面设置磁性材料和或在第二条形榫槽的内壁设置第一磁性材料，且在第一卡合结构的第一条形榫槽的表面设置磁性材料和或在第一条形榫槽的内壁设置第二磁性材料，其中，第一磁性材料与第二磁性材料的磁性相反，通过第一磁性材料和第二磁性材料的磁力吸附作用可使得保护膜与刚性衬底基板固定贴合。步骤204、在柔性衬底基板远离刚性衬底基板的一面上制备柔性发光器件。可选的，柔性发光器件包括依次设置在柔性衬底基板上的薄膜晶体管ThinFilmTransistor，TFT阵列、第一电极、发光层和第二电极。其中，发光层包括第一载流子注入层、第一载流子传输层、发光材料层、第二载流子传输层和第二载流子注入层。当第一电极为阳极，第二电极为阴极时，第一载流子为空穴，第二载流子为电子；或者，当第一电极为阴极，第二电极为阳极时，第一载流子为电子，第二载流子为空穴。可选的，TFT可以包括依次形成在衬底基板上的栅极金属图案、栅绝缘层、有源层、源漏极金属图案和钝化层。其中，栅极金属图案可以由金属钼Mo制备得到，则可以采用沉积的方式形成金属钼层，再通过构图工艺形成栅极金属图案；栅绝缘层可以由二氧化硅SiO2制备得到，则可以采用沉积的方式在形成有栅极金属图案的衬底基板上形成二氧化硅膜层，再通过构图工艺形成栅绝缘层；有源层可以由铟镓锌氧化物IndiumGalliumZincOxide，IGZO制备得到，则可以采用沉积的方式在形成有栅绝缘层的衬底基板上形成铟镓锌氧化物层，再通过构图工艺形成有源层；源漏极金属图案可以由金属钼制备得到，则可以采用沉积的方式在形成有有源层的衬底基板上形成金属钼层，再通过构图工艺形成源漏极金属图案；钝化层可以由SiO2制备得到，则可以采用沉积的方式在形成有源漏极金属图案的衬底基板上形成二氧化硅层，再通过构图工艺形成钝化层。其中，构图工艺可以包括：光刻胶涂覆、曝光、显影、刻蚀和光刻胶剥离。需要说明的是，栅极金属图案和源漏极金属图案还可以由铝等材质制成，栅绝缘层和钝化层还可以由二氧化氮等材质制成，本发明实施例对TFT中各层级结构的材质不做限定。可选的，阳极可以由氧化铟锡IndiumTinOxide，ITO制备得到，可采用沉积ITO的方式形成金属层，并通过构图工艺形成阳极，本发明实施例对阳极的制备材料和制备方式均不做限定。可选的，空穴注入层可以由热塑聚合物PEDOT:PSS3，4-乙烯二氧噻吩聚苯乙烯磺酸盐制备得到，空穴传输层可以由1，2，4，5-四三氟甲基苯1,2,4,5-TetrakistrifluoromethylBenzene，TFB制备得到，可采用喷墨打印的工艺分别制备得到空穴注入层和空穴传输层，本发明实施例对空穴注入层和空穴传输层的制备材料和制备方式均不做限定。可选的，发光材料层可以为量子点材料层，则该柔性发光器件为量子点发光二极管QuantumDotLightEmittingDiodes，QLED器件，或者，发光材料层也可以为有机发光材料层，则该柔性发光器件为有机发光二极管OrganicLight-EmittingDiode，OLED器件；可采用打印的方式形成发光材料层，本发明实施例对发光材料层的制备材料和制备方式均不做限定。可选的，电子传输层可以由氧化锌制备得到，可采用打印或溅射的方式形成电子传输层，电子注入层可采用打印或溅射的方式形成，本发明实施例对电子传输层和电子注入层的制备材料和制备方式均不做限定。可选的，阴极可以由氟化锂或铝制备得到，可采用蒸镀的方式形成阴极，本发明实施例对阴极的制备材料和制备方式均不做限定。步骤205、将柔性衬底基板与保护膜的第二面分离，得到柔性显示基板。需要说明的是，由于保护膜与柔性衬底基板通过静电吸附的方式贴附，因此在柔性衬底基板与保护膜的第二面分离后，柔性衬底基板和保护膜上均不会留有对其自身造成污染的材料，例如粘性材料，因此无需对柔性衬底基板进行清洗，简化了柔性显示基板的制备过程。另外，由于刚性衬底基板与保护膜通过卡合结构进行卡合固定，将刚性衬底基板与保护膜分离后，与相关技术相比，刚性衬底基板上不会残留有粘性材料，使得刚性衬底基板可重复利用，提高了刚性衬底基板的利用率，降低了柔性显示基板的制造成本。可选的，柔性显示基板可以为QLED显示基板或OLED显示基板，本发明实施例对此不做限定。需要说明的是，本发明实施例提供的柔性显示基板的制造方法的步骤的先后顺序可以进行适当调整，步骤也可以根据情况进行相应增减，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化的方法，都应涵盖在本发明的保护范围之内，因此不再赘述。综上所述，本发明实施例提供的柔性显示基板的制造方法，将设置有卡合结构的保护膜贴附在柔性衬底基板上，通过刚性衬底基板上设置的卡合结构与保护膜上的卡合结构的卡接作用，使得柔性衬底基板固定设置在刚性衬底基板上，进而在柔性衬底基板远离刚性衬底基板的一面上制备柔性发光器件，待柔性发光器件制备完成后，将柔性衬底基板与保护膜分离，得到柔性显示基板。在本发明实施例中，由于柔性衬底基板与保护膜之间通过非胶粘的方式贴合，在柔性衬底基板与保护膜的分离过程中无需加热，因此可以避免柔性发光器件的损坏，进而提高了柔性显示基板的制造可靠性。本发明实施例提供了一种柔性显示基板的制造组件，包括：刚性衬底基板和保护膜，刚性衬底基板的一面上设置有第一卡合结构，保护膜具有相对的第一面和第二面，第一面上设置有第二卡合结构；保护膜的第二面用于贴附柔性衬底基板；刚性衬底基板与保护膜通过第一卡合结构和第二卡合结构可拆卸连接。可选的，当第一卡合结构和第二卡合结构均为榫卯结构，则可以通过榫卯连接的方式，将保护膜固定设置在刚性衬底基板上。图3是本发明实施例提供的一种刚性衬底基板的结构示意图，如图3所示，刚性衬底基板301的一面上设置有第一卡合结构M，第一卡合结构M包括多个第一条形榫头m1和多个第一条形榫槽m2。图4是本发明实施例提供的一种保护膜的结构示意图，如图4所示，保护膜302上设置有第二卡合结构N，第二卡合结构N包括多个第二条形榫头n1和多个第二条形榫槽n2。参见图3和图4，第一条形榫头m1的结构与第二条形榫槽n2的结构相匹配，第二条形榫头n1的结构与第一条形榫槽m2的结构相匹配。其中，第一条形榫头的结构与第二条形榫槽的结构相匹配，也即是，第一条形榫头的形状和尺寸均与第二条形榫槽的形状和尺寸相匹配；第二条形榫头的结构与第一条形榫槽的结构相匹配，也即是，第二条形榫头的形状和尺寸均与第一条形榫槽的形状和尺寸相匹配。可选的，刚性衬底基板可以由金属材料、玻璃或聚氯乙烯材料制备得到。保护膜可以由PET材料、PI材料或钢化玻璃制备得到，本发明实施例对刚性衬底基板和保护膜的材质均不做限定。本申请中术语“和或”，仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。另外，本文中字符“”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。以上所述仅为本发明的可选实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

权利要求：1.一种柔性显示基板的制造方法，其特征在于，所述方法包括：提供刚性衬底基板、柔性衬底基板和保护膜，所述刚性衬底基板的一面上设置有第一卡合结构，所述保护膜具有相对的第一面和第二面，所述第一面上设置有第二卡合结构；将所述保护膜的第二面通过非胶粘的方式贴附在所述柔性衬底基板上；通过卡接所述第一卡合结构与所述第二卡合结构，使所述柔性衬底基板固定设置在所述刚性衬底基板上；在所述柔性衬底基板远离所述刚性衬底基板的一面上制备柔性发光器件；将所述柔性衬底基板与所述保护膜的第二面分离，得到柔性显示基板。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述将所述保护膜的第二面通过非胶粘的方式贴附在所述柔性衬底基板上，包括：通过静电吸附的方式将所述保护膜的第二面贴附在所述柔性衬底基板上。3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述第一卡合结构与所述第二卡合结构均为榫卯结构；所述通过卡接所述第一卡合结构与所述第二卡合结构，使所述柔性衬底基板固定设置在所述刚性衬底基板上，包括：通过榫卯连接的方式，将贴附有所述保护膜的柔性衬底基板固定设置在所述刚性衬底基板上。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述第一卡合结构包括多个第一条形榫头和多个第一条形榫槽，所述第二卡合结构包括多个第二条形榫头和多个第二条形榫槽；所述第一条形榫头的结构与所述第二条形榫槽的结构相匹配，所述第二条形榫头的结构与所述第一条形榫槽的结构相匹配。5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述第一条形榫槽的两端均设置有挡板，所述挡板的高度不大于所述第一条形榫头的高度。6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述第二卡合结构满足以下至少一者：所述第二条形榫头的表面设置有磁性材料；所述第二条形榫槽的内壁设置有磁性材料。7.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述第一条形榫头的尺寸与所述第二条形榫槽的尺寸相同；所述第二条形榫头的尺寸与所述第一条形榫槽的尺寸相同。8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述提供保护膜，包括：提供膜层基材；通过构图工艺在所述膜层基材的第一面上形成所述第二卡合结构。9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述提供保护膜之后，所述方法还包括：制备第二卡合结构；通过粘接剂将所述第二卡合结构固定设置在所述保护膜的第一面上。10.一种柔性显示基板的制造组件，其特征在于，包括：刚性衬底基板和保护膜，所述刚性衬底基板的一面上设置有第一卡合结构，所述保护膜具有相对的第一面和第二面，所述第一面上设置有第二卡合结构；所述保护膜的第二面用于贴附柔性衬底基板；所述刚性衬底基板与所述保护膜通过所述第一卡合结构和所述第二卡合结构可拆卸连接。

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