申请/专利权人：杭州中欣晶圆半导体股份有限公司

申请日：2019-12-31

公开（公告）日：2021-02-09

公开（公告）号：CN212512117U

主分类号：F26B9/06(20060101)

分类号：F26B9/06(20060101);F26B25/18(20060101);F26B21/00(20060101);F26B21/04(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.02.09#授权

摘要：本实用新型涉及一种Sweep型内置吹气喷嘴硅片干燥设备，所属硅片干燥设备技术领域，包括硅片干燥组件，硅片干燥组件外侧设有空气烘干机，空气烘干机上端设有与硅片干燥组件上端相法兰式管路连通的抽气管，空气烘干机下端与硅片干燥组件侧端间设有进气管。硅片干燥组件包括硅片干燥箱体，硅片干燥箱体内设有硅片网格挂箱，硅片网格挂箱两侧下端均设有滚轮架，滚轮架内侧与硅片网格挂箱间均设有若干支撑滚轮，硅片网格挂箱与进气管间设有若干与进气管相连通的进气分管，硅片干燥箱体上端设有与抽气管相法兰式管路连通的出气管。具有结构简单、干燥效率高和运行稳定性好的特点。解决了硅片上水分残留的问题。提高产品品质，达到较好的清洁及干燥效果。

主权项：1.一种Sweep型内置吹气喷嘴硅片干燥设备，其特征在于：包括硅片干燥组件（1），所述的硅片干燥组件（1）外侧设有空气烘干机（6），所述的空气烘干机（6）上端设有抽气管（3），所述的抽气管（3）与硅片干燥组件（1）上端相法兰式管路连通，所述的空气烘干机（6）下端与硅片干燥组件（1）侧端间设有进气管（7）；所述的硅片干燥组件（1）包括硅片干燥箱体（9），所述的硅片干燥箱体（9）内设有硅片网格挂箱（12），所述的硅片网格挂箱（12）与硅片干燥箱体（9）相活动式抽拉，所述的硅片网格挂箱（12）两侧下端均设有滚轮架（17），所述的滚轮架（17）内侧与硅片网格挂箱（12）间均设有若干支撑滚轮（18），所述的滚轮架（17）上端与硅片网格挂箱（12）间均设有若干导向限位拨杆（16），所述的导向限位拨杆（16）与滚轮架（17）相扭簧式限位嵌套，所述的硅片网格挂箱（12）与进气管（7）间设有若干与进气管（7）相连通的进气分管（14），所述的进气分管（14）与进气管（7）间设有过渡支撑气管（15），所述的硅片干燥箱体（9）上端设有出气管（11），所述的出气管（11）与抽气管（3）相法兰式管路连通。

全文数据：

权利要求：

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