申请/专利权人：洛阳博特自动化工程有限公司

申请日：2020-06-17

公开（公告）日：2021-02-09

公开（公告）号：CN212519531U

主分类号：H05H1/46(20060101)

分类号：H05H1/46(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.02.09#授权

摘要：一种涉及纳米材料制造领域的防止高频线圈匝间放电的射频等离子炬，包含等离子炬本体，所述等离子炬本体包含从内到外同轴并间隙套设的送粉管、内层管、中间管、外层管和用于电离惰性气体产生等离子体的高频线圈，所述外层管两端外侧分别套设有用于密封中间管和外层管之间间隙的密封环座；所述高频线圈对应送粉管的喷头位置套设于外层管轴向中部，所述高频线圈外侧有间隙的套设有筒形的送风玻璃罩，所述送风玻璃罩包含密封端和敞口端，所述密封端与任一密封环座对应端密封固定，该密封环座外侧壁均匀环设有多个连通至送风玻璃罩内腔的送风口；该射频等离子炬不仅能够防止高频线圈匝间放电，也能够对线圈以及紧邻线圈的玻璃管进行降温。

主权项：1.一种防止高频线圈匝间放电的射频等离子炬，包含等离子炬本体，所述等离子炬本体包含从内到外同轴并间隙套设的送粉管（1）、内层管（2）、中间管（3）、外层管（4）和用于电离惰性气体产生等离子体的高频线圈（6），所述外层管（4）两端外侧分别套设有用于密封中间管（3）和外层管（4）之间间隙的密封环座（7），其特征在于：所述高频线圈（6）对应送粉管（1）的喷头位置套设于外层管（4）轴向中部，所述高频线圈（6）外侧有间隙的套设有筒形的送风玻璃罩（5），所述送风玻璃罩（5）包含密封端和敞口端，所述密封端与任一密封环座（7）的对应端密封固定，该密封环座（7）外侧壁均匀环设有多个连通至送风玻璃罩（5）内腔的送风口（8）。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 洛阳博特自动化工程有限公司 一种防止高频线圈匝间放电的射频等离子炬

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