申请/专利权人：河南能微新材料科技股份有限公司

申请日：2020-06-17

公开（公告）日：2021-02-09

公开（公告）号：CN212519532U

主分类号：H05H1/46(20060101)

分类号：H05H1/46(20060101);B82Y40/00(20110101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.02.09#授权

摘要：一种涉及纳米材料制造领域的纳米粉体制造用带有放电保护装置的射频等离子炬，包含等离子炬本体和空气制备吹送设备；等离子炬本体包含从内到外套设的送粉管、内层管、中间管、外层管和感应线圈，外层管上下端外侧分别套设有上密封环座和下密封环座，上密封环座和下密封环座均与外层管之间设有第一密封圈；感应线圈外侧套设有送风玻璃罩，送风玻璃罩的底端敞口，送风玻璃罩的顶端与上密封环座的底端密封固定，上密封环座外侧壁设有多个送风口；靠近下密封环座的中间管和外层管之间设有用于阻挡等离子火焰光的挡焰环套；该射频等离子炬不仅能够防止高频感应线圈匝间放电，增加降温效果，而且能够防止密封圈受热损坏，提高使用寿命。

主权项：1.一种纳米粉体制造用带有放电保护装置的射频等离子炬，包含竖直设置的等离子炬本体和空气制备吹送设备；所述等离子炬本体包含从内到外同轴并间隙套设的送粉管（1）、内层管（2）、中间管（3）、外层管（4）和用于电离惰性气体产生等离子体的感应线圈（6），所述外层管（4）上下端外侧分别套设有上密封环座（10）和下密封环座（13），所述上密封环座（10）和下密封环座（13）均与外层管（4）之间设有用于密封的第一密封圈（12），其特征在于：所述感应线圈（6）外侧有间隙的套设有筒形的送风玻璃罩（5），所述送风玻璃罩（5）的底端敞口，送风玻璃罩（5）的顶端与上密封环座（10）的底端密封固定，所述上密封环座（10）外侧壁均匀环设有多个连通至送风玻璃罩（5）内腔的送风口（14）；所述空气制备吹送设备包含气体分布器（7）、风机（8）和用于制备潮湿空气的加湿器（9），所述加湿器（9）的空气出口与风机（8）的进口连接，所述风机（8）的出口与气体分布器（7）的总进口连接，所述气体分布器（7）对应送风口（14）设有多个支路出口，所述支路出口与相应送风口通过软管连通；靠近下密封环座（13）的中间管和外层管之间设有用于阻挡等离子火焰光的挡焰环套（11）。

全文数据：

权利要求：

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