申请/专利权人：河南飞孟金刚石工业有限公司

申请日：2020-07-29

公开（公告）日：2021-02-09

公开（公告）号：CN212515454U

主分类号：G05B19/05(20060101)

分类号：G05B19/05(20060101);G01R19/00(20060101);G01J5/00(20060101);H02J3/00(20060101);H02H3/00(20060101);H02M7/00(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.02.09#授权

摘要：本实用新型属于CVD设备领域，具体涉及一种CVD设备加热炬供电装置，包括等离子炬、沉积室、炬电源箱、电控柜，炬电源箱包括并联为等离子炬供电的炬电源一和炬电源二；电控柜内设置有PLC，以及与PLC配合连接的电压变送器、电流变送器、炬电压给定器和温度变送器；沉积室上设有红外温度传感器；炬电源一和炬电源二的交流输入端通过进线电缆并联连接至电控柜的交流接线端，直流输出端通过出线电缆并联连接至等离子炬的电源接线端；炬电源的控制电路连接至炬电压给定器；炬电源一和炬电源二的电压和电流检测信号反馈至电压变送器和电流变送器；温度检测信号反馈至温度变送器，利用双电源并联的互补性，提升等离子炬供电的可靠性。

主权项：1.一种CVD设备加热炬供电装置，包括CVD设备的等离子炬和沉积室，为等离子炬供电的炬电源箱，以及CVD设备配套的电控柜，其特征在于：所述炬电源箱包括并联为等离子炬供电的炬电源一和炬电源二；所述电控柜内设置有PLC，以及与PLC配合电连接的电压变送器、电流变送器、炬电压给定器和温度变送器；所述沉积室上设置有红外温度传感器；所述炬电源一和炬电源二的交流输入端通过进线电缆并联连接至电控柜的交流接线端，直流输出端通过出线电缆并联连接至等离子炬的电源接线端；炬电源一和炬电源二的控制电路通过给定控制线连接至炬电压给定器；炬电源一和炬电源二的输出电压和电流检测信号通过电压反馈信号线和电流反馈信号线送到电压变送器和电流变送器；红外温度传感器通过温度反馈信号线连接至温度变送器。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 河南飞孟金刚石工业有限公司 一种CVD设备加热炬供电装置

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