申请/专利权人：吉林华微电子股份有限公司

申请日：2020-08-03

公开（公告）日：2021-02-09

公开（公告）号：CN212493227U

主分类号：B02C15/14(20060101)

分类号：B02C15/14(20060101);B02C25/00(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.02.09#授权

摘要：本申请实施例提供一种石英粉研磨装置及系统，通过设计研磨平台，在研磨平台的上盖开设行程槽，控制组件控制研磨传动组件在行程槽的两端之间往复传动，并且研磨传动组件上设置有用于容置石英粉的研磨槽，研磨组件通过支撑组件固定于上盖上，在研磨传动组件的往复传动的过程中对石英粉进行研磨，并在支撑组件的控制下统一调整对石英粉的研磨力度。如此，通过模拟出操作员工的手工研磨流程并进行力度控制优化，能够提高石英粉研磨的力度均匀性，从而更好地达到均一性的研磨要求，进而便于提高后续双极集成电路产品的质量一致性，此外还可以有效降低操作人员的劳动强度，提高研磨效率。

主权项：1.一种石英粉研磨装置，其特征在于，包括：研磨平台110，所述研磨平台110包括上盖112和与所述上盖112固定的底座114，所述上盖112上开设有行程槽116；设置在所述行程槽116内，用于在所述行程槽116的两端之间往复传动的研磨传动组件120，所述研磨传动组件120上设置有用于容置石英粉的研磨槽122；与所述研磨传动组件120连接的控制组件130，所述控制组件130用于控制所述研磨传动组件120在所述行程槽116的两端之间进行往复传动；以及用于对所述研磨槽122中的石英粉进行研磨的研磨组件140，所述研磨组件140通过支撑组件150固定于所述上盖112上，并用于在所述支撑组件150的控制下调整对所述石英粉的研磨力度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 吉林华微电子股份有限公司 石英粉研磨装置及系统

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD