申请/专利权人：优贝克科技股份有限公司

申请日：2020-09-03

公开（公告）日：2021-02-09

公开（公告）号：CN212505048U

主分类号：C23C14/35(20060101)

分类号：C23C14/35(20060101)

优先权：["20200729 TW 109209690"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.02.09#授权

摘要：一种溅镀靶材，包含靶坯、背板单元、数个磁性件及数个固定件。所述背板单元包括与所述靶坯间隔设置的背板及接合层，所述背板具有朝向所述靶坯的底面的第一板面及反向于所述第一板面的第二板面。所述接合层设置于所述第一板面。所述磁性件设置于所述靶坯的底面与所述背板的第一板面间。所述固定件分别对应于所述磁性件，所述固定件具有导电、导热及耐高温的性质且接合于所述靶坯的底面或所述背板的第一板面，每一所述固定件的熔点高于所述接合层的熔点，所述接合层一体地填充于所述靶坯与所述背板间。本实用新型不需开槽，且结构及工序较为简单，调整磁力线的方式也较为便利。

主权项：1.一种溅镀靶材，其特征在于：包含：靶坯，包括靶面，及反向于所述靶面的底面；背板单元，包括与所述靶坯间隔设置的背板，及接合层，所述背板具有朝向所述靶坯的底面的第一板面、反向于所述第一板面的第二板面，及位于内部且用来降温的水道，所述接合层设置于所述第一板面；数个磁性件，设置于所述靶坯的底面与所述背板的第一板面间；及数个固定件，分别对应于所述磁性件且设置于所述磁性件，所述固定件具有导电、导热及耐高温的性质且接合于所述靶坯的底面或所述背板的第一板面，每一所述固定件的熔点高于所述接合层的熔点，所述接合层一体地填充于所述靶坯与所述背板间，借此，将所述磁性件固定于所述靶坯与所述背板单元间。

全文数据：

权利要求：

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