申请/专利权人：村田机械株式会社

申请日：2019-05-15

公开（公告）日：2021-02-19

公开（公告）号：CN112385030A

主分类号：H01L21/673(20060101)

分类号：H01L21/673(20060101);B65G1/00(20060101)

优先权：["20180720 JP 2018-136927"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.03.09#实质审查的生效;2021.02.19#公开

摘要：保管架1具备第二架模块40和悬挂支架10，该第二架模块具有载置容器F的第二搁板43、向容器F的内部供给流体的供给喷嘴51、对从供给喷嘴51供给的流体的流量进行调整的MFC55、以及将MFC55和与流体的供给源连接的主配管60连接的第三配管56，该悬挂支架具有从下方支承第二架模块40的追加架支承部23、以及悬挂支承追加架支承部23的一对吊部11和追加吊部21。悬挂支架10沿着一方向以等间隔设置，第二架模块40架设于在一方向上相邻的悬挂支架的追加架支承部23，在第三配管56的端部设置有使得能够进行与主配管60之间的连接的配管连接器56a。

主权项：1.一种保管架，具备：架模块，该架模块具有载置容器的搁板、向载置于所述搁板的所述容器的内部供给流体的喷嘴、对从所述喷嘴供给的所述流体的流量进行调整的流量调整部、及将所述流量调整部和与流体的供给源连接的主配管连接的配管；以及悬挂支架，该悬挂支架具有从下方支承所述架模块的架支承部、及悬挂支承所述架支承部的一对吊部，所述悬挂支架沿着一方向以等间隔设置，所述架模块架设于在所述一方向上相邻的所述悬挂支架的所述架支承部，在所述配管的端部设置有使得能够进行与所述主配管之间的连接的配管连接器。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 村田机械株式会社 保管架和保管架的设置方法

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