申请/专利权人：长江存储科技有限责任公司

申请日：2020-11-11

公开（公告）日：2021-02-19

公开（公告）号：CN112382329A

主分类号：G11C29/12(20060101)

分类号：G11C29/12(20060101);G11C16/04(20060101);G11C16/08(20060101);G01R27/02(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.10.15#授权;2021.03.09#实质审查的生效;2021.02.19#公开

摘要：本发明提供一种字线电阻的测试方法，包括：提供三维存储器，其中，所述三维存储器包括至少两个存储块，每个所述存储块包括台阶区、第一存储区、第二存储区、多条间隔设置的字线，所述第一存储区与所述第二存储区设于所述台阶区的两侧，所述多条字线贯穿所述台阶区，并延伸至所述第一存储区与所述第二存储区，所述台阶区的每条字线在预设点位设有一个测试键；连接至少两个所述存储块的同一层的字线；测试两个所述测试键之间的电阻作为测试电阻；根据所述测试电阻计算每条所述字线的电阻。本发明解决了中间驱动的三维存储器无法有效快速地测出所有字线的电阻的技术问题。

主权项：1.一种字线电阻的测试方法，其特征在于，包括：提供三维存储器，其中，所述三维存储器包括至少两个存储块，每个所述存储块包括台阶区、第一存储区、第二存储区、多条间隔设置的字线，所述第一存储区与所述第二存储区设于所述台阶区的两侧，所述多条字线贯穿所述台阶区，并延伸至所述第一存储区与所述第二存储区，所述台阶区的每条字线在预设点位设有一个测试键；连接至少两个所述存储块的同一层的字线；测试两个所述测试键之间的电阻作为测试电阻；根据所述测试电阻计算每条所述字线的电阻。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 长江存储科技有限责任公司 字线电阻的测试方法

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