申请/专利权人:康迪泰克流体技术(长春)有限公司
申请日:2020-06-19
公开(公告)日:2021-02-19
公开(公告)号:CN212567316U
主分类号:G01B13/18(20060101)
分类号:G01B13/18(20060101);G01B13/22(20060101)
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2021.02.19#授权
摘要:本实用新型公开了一种检测系统,其用于对待测物体的待检测面的平面度进行检测,该检测系统包括:检测装置,其具有与所述待检测面配合的检测面和贯穿检测面的至少三个位于不同位置的出气孔;气体供应装置,其用于为至少三个位于不同位置的出气孔提供检测气体;及气压传感器,其用于检测至少三个位于不同位置的出气孔的气压。本实用新型能够利用气压进行检测,以能够对待测物体的平面度实现快速、判断直观准确、检测精度高地检测。
主权项:1.一种检测系统,其用于对待测物体的待检测面的平面度进行检测,其特征在于,所述检测系统包括:检测装置,其具有与所述待检测面配合的检测面和贯穿所述检测面的至少三个位于不同位置的出气孔,气体供应装置,其用于为所述至少三个位于不同位置的出气孔提供检测气体,及气压传感器,其用于检测所述至少三个位于不同位置的出气孔的气压。
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