【实用新型】一种检测装置及检测设备_深圳中科飞测科技有限公司_202021849561.6 

申请/专利权人:深圳中科飞测科技有限公司

申请日:2020-08-31

发明/设计人:陈鲁;方一;李青格乐

公开(公告)日:2021-02-19

代理机构:

公开(公告)号:CN212567282U

代理人:

主分类号:G01B11/00(20060101)

地址:518109 广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301

分类号:G01B11/00(20060101);G01B11/24(20060101)

优先权:["20191022 CN 2019217808381"]

专利状态码:有效-授权

法律状态:2021.02.19#授权

摘要:本申请提供一种检测装置,包括光源装置,其用于向待测区及其外围区域发射检测光束,检测光束沿垂直于待测物的方向入射至待测区及其外围区域,检测光束穿过外围区域形成复检光束;反射元件,其具有反射面,反射面平行于待测物,反射面用于使至少部分复检光束反射至外围区域,复检光束穿过外围区域形成第一信号光;以及探测装置,其用于接收信号光,信号光包括沿垂直于待测物的方向自外围区域出射的第一信号光;通过以上设置,可以使得光源装置出射的检测光束可以经待测物反射、折射或散射后形成信号光,被探测装置所收集,形成清晰的轮廓图,从而提高检测精度。

主权项:1.一种检测装置,其特征在于,包括:光源装置,所述光源装置用于向待测区及其外围区域发射检测光束,所述检测光束沿垂直于待测物的方向入射至所述待测区及其外围区域,所述检测光束穿过所述外围区域形成复检光束,所述待测区用于改变所述检测光束的传播方向;反射元件,所述反射元件具有反射面,所述检测光束中心轴垂直于所述反射元件,所述反射面用于使至少部分所述复检光束反射至所述外围区域,所述复检光束穿过所述外围区域形成第一信号光;以及探测装置,所述探测装置用于接收信号光,所述信号光包括沿垂直于所述反射面的方向自所述外围区域出射的第一信号光,形成检测信息。

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权利要求:

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