申请/专利权人：上海高鹰科技有限公司

申请日：2020-09-18

公开（公告）日：2021-02-19

公开（公告）号：CN212569162U

主分类号：G01T1/29(20060101)

分类号：G01T1/29(20060101);G01T1/36(20060101);G01T1/16(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.02.19#授权

摘要：本实用新型公开了一种辐照加速器束斑测量系统，用于测量辐照加速器产生的电子束斑的大小，其特征在于，包括：电子束输出组件、束斑测量组件、同步驱动模块和支架；束斑测量组件滑动设置在支架上，束斑测量组件包括YAG晶体、反光镜和CCD相机；YAG晶体正对电子束输出组件设置，反光镜设置在YAG晶体背离电子束输出组件的一侧且正对电子束输出组件，CCD相机设置在反光镜的反射光路上；同步驱动模块分别与束斑测量组件和电子束输出组件驱动连接，以实现束斑测量组件与电子束做同步运动。该系统可以实现实时对加速器的电子束斑大小进行测量的目的，简单方便。

主权项：1.一种辐照加速器束斑测量系统，用于测量辐照加速器产生的电子束斑的大小，其特征在于，包括：电子束输出组件、束斑测量组件、同步驱动模块和支架；所述束斑测量组件滑动设置在所述支架上，所述束斑测量组件包括YAG晶体板、反光镜和CCD相机；所述YAG晶体板正对所述电子束输出组件设置，所述反光镜设置在所述YAG晶体板背离所述电子束输出组件的一侧且正对所述电子束输出组件，所述CCD相机设置在所述反光镜的反射光路上；所述同步驱动模块分别与所述束斑测量组件和所述电子束输出组件驱动连接，以实现所述束斑测量组件与电子束做同步运动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海高鹰科技有限公司 一种辐照加速器束斑测量系统

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