申请/专利权人:柏霆(苏州)光电科技有限公司
申请日:2020-04-29
公开(公告)日:2021-02-19
公开(公告)号:CN212560423U
主分类号:C23C14/35(20060101)
分类号:C23C14/35(20060101)
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2021.02.19#授权
摘要:本实用新型涉及磁控溅镀设备领域,具体涉及溅镀阴极的磁场移动机构,包括:驱动电机、通过联轴器与驱动电机连接的主动偏心轴、从动偏心轴、溅镀阴极和溅镀靶材;所述溅镀阴极包括槽体、通过螺丝盖设固定在槽体上槽体上盖,以及设置在所述槽体和槽体上盖围成的内腔中的磁铁固定座、内排磁铁和外排磁铁;采用本实用新型,驱动电机作为动力,联轴器缓冲驱动电机的输出,将扭力平稳输出至主动偏心轮,配合从动偏心轮使得磁铁固定板可以在槽体和槽体上盖形成的内腔中,水平偏心运动,固定在磁铁固定板上的内排磁铁和外排磁铁的封闭磁感线范围,得到进一步扩大使靶材利用率更高。
主权项:1.溅镀阴极的磁场移动机构,其特征在于,包括:驱动电机1、通过联轴器2与驱动电机1连接的主动偏心轴3、从动偏心轴6、溅镀阴极和溅镀靶材13;所述溅镀阴极包括槽体14、通过螺丝15盖设固定在槽体14上槽体上盖16,以及设置在所述槽体14和槽体上盖16围成的内腔中的磁铁固定座10、内排磁铁11和外排磁铁12;所述磁铁固定座上端设置有主动轴承座17和若干从动轴承座9;所述槽体上盖16上设置有主动轴承架4和若干从动轴承架7;所述主动偏心轴3的一端连接联轴器2,另一端穿过主动轴承架4与主动轴承座17连接;所述从动偏心轴6穿过从动轴承架7与从动轴承座9连接。
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