申请/专利权人：伊鲁米那股份有限公司

申请日：2020-05-21

公开（公告）日：2021-02-19

公开（公告）号：CN212571001U

主分类号：H01L27/146(20060101)

分类号：H01L27/146(20060101)

优先权：["20190521 US 62/850,894"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.02.19#授权

摘要：本申请涉及传感器装置。在一个示例中公开了一种装置，包括衬底、在衬底上的包括活性表面和传感器接合焊盘的传感器、在衬底上并覆盖传感器的侧面的模制层，该模制层相对于衬底的顶表面的模制高度大于传感器的活性表面相对于衬底的顶表面的高度，以及在模制层和活性表面上的封盖层。封盖层和模制层在传感器的活性表面上形成限定流动通道的空间。

主权项：1.一种传感器装置，包括：衬底，其具有衬底接合焊盘；在所述衬底上的传感器，所述传感器包括活性表面和传感器接合焊盘；在所述衬底之上并覆盖所述传感器的侧面的模制层，所述模制层具有相对于所述衬底的顶表面的模制高度，所述模制高度大于所述传感器的活性表面相对于所述衬底的顶表面的高度；以及在所述模制层和所述活性表面上的封盖层；其中所述封盖层和所述模制层在所述传感器的活性表面上共同形成空间，所述空间限定了流动通道。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 伊鲁米那股份有限公司 传感器装置

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