【实用新型】晶圆存取机构_广东长信精密设备有限公司_202020901521.5 

申请/专利权人:广东长信精密设备有限公司

申请日:2020-05-25

发明/设计人:沈艳东

公开(公告)日:2021-02-19

代理机构:广州三环专利商标代理有限公司

公开(公告)号:CN212553078U

代理人:颜希文;宋亚楠

主分类号:B24B9/06(20060101)

地址:511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号设备间

分类号:B24B9/06(20060101);B24B41/00(20060101);B24B41/02(20060101)

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2021.02.19#授权

摘要:本实用新型涉及晶圆加工领域,具体涉及了一种晶圆存取机构,包括储存部件、座体、第一驱动装置和第二驱动装置;第一驱动装置包括连接于座体的第一导轨以及可滑动地连接于第一导轨的第一滑块,第二驱动装置包括连接于第一滑块的第二导轨以及可滑动地连接于第二导轨的第二滑块,第一导轨和第二导轨相互垂直设置,储存部件连接于第二滑块,第一驱动装置和第二驱动装置用于驱动储存部件在两个相互垂直的方向上运动,储存部件上设有多个储存单元,以储存多个晶圆,可运动的储存部件使得晶圆自动搬送装置能够快速拾取储存部件上相应的晶圆,提高晶圆磨边机的加工效率。

主权项:1.一种晶圆存取机构,其特征在于,包括储存部件、座体、第一驱动装置和第二驱动装置;所述第一驱动装置包括连接于所述座体的第一导轨以及可滑动地连接于所述第一导轨的第一滑块,所述第二驱动装置包括连接于所述第一滑块的第二导轨以及可滑动地连接于所述第二导轨的第二滑块,所述第一导轨和第二导轨相互垂直设置,所述储存部件连接于所述第二滑块,所述储存部件上设有多个储存单元。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 广东长信精密设备有限公司 晶圆存取机构

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