申请/专利权人:苏州源卓光电科技有限公司
申请日:2019-08-13
公开(公告)日:2021-02-23
公开(公告)号:CN112394619A
主分类号:G03F7/20(20060101)
分类号:G03F7/20(20060101)
优先权:
专利状态码:失效-发明专利申请公布后的驳回
法律状态:2023.02.28#发明专利申请公布后的驳回;2021.03.12#实质审查的生效;2021.02.23#公开
摘要:本发明提供了一种直写光刻机的曝光系统,其包括光源、匀光装置、中继透镜组、数字微反射镜阵列和曝光镜头,所述光源的光线依次通过所述匀光装置、所述中继透镜组、所述数字为反射阵列和所述曝光镜头,所述光源至少包括第一光源和第二光源,所述第一光源和所述第二光源的波长不同,所述匀光装置采用整合匀光装置,对所述第一光源和所述第二光源发出的光线进行整合匀光。
主权项:1.一种直写光刻机的曝光系统,其包括光源、匀光装置、中继透镜组、数字微反射镜阵列和曝光镜头,所述光源的光线依次通过所述匀光装置、所述中继透镜组、所述数字为反射阵列和所述曝光镜头,其特征在于,所述光源至少包括第一光源和第二光源,所述第一光源和所述第二光源的波长不同,所述匀光装置采用整合匀光装置,对所述第一光源和所述第二光源发出的光线进行整合匀光。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 苏州源卓光电科技有限公司 一种直写光刻机的曝光系统
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。