申请/专利权人：江苏金晖光伏有限公司

申请日：2019-08-14

公开（公告）日：2021-02-23

公开（公告）号：CN112387692A

主分类号：B08B3/12(20060101)

分类号：B08B3/12(20060101);B08B3/02(20060101);B08B3/08(20060101);B08B3/04(20060101);B08B13/00(20060101);F26B21/00(20060101);H01L21/67(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态：2023.01.24#发明专利申请公布后的视为撤回;2021.02.23#公开

摘要：本发明公开了一种硅片的清洗槽，涉及硅片生产技术领域，具体为一种硅片的清洗槽，包括槽体，所述槽体的顶部固定安装有超声波发生器，所述槽体的右侧固定连接有排液口，所述排液口的顶部固定安装有控制阀，所述槽体的内部固定连接有挡板，所述挡板的顶部放置有硅片放置板，所述硅片放置板的顶部设置有卡槽，所述硅片放置板顶部的右侧固定连接有侧板。该硅片的清洗槽，通过设置高压喷头使清洗液形成高压水流对硅片进行冲洗，能够有效地取出硅片表面的附着物，当冲洗的清洗漫过硅片的顶部时，通过超声波发生器产生的超声波使清洗液震动，对硅片进行二次的清洗，提高了硅片的清洗效率。

主权项：1.一种硅片的清洗槽，包括槽体1，其特征在于：所述槽体1的顶部固定安装有超声波发生器2，所述槽体1的右侧固定连接有排液口3，所述排液口3的顶部固定安装有控制阀4，所述槽体1的内部固定连接有挡板5，所述挡板5的顶部放置有硅片放置板6，所述硅片放置板6的顶部设置有卡槽7，所述硅片放置板6顶部的右侧固定连接有侧板8，所述卡槽7的内部卡接有硅片9，所述槽体1的左侧固定连接有溢流管10，所述槽体1的右侧固定安装有干燥室11，所述干燥室11的内壁的右侧固定安装有加热板12，所述加热板12的左侧固定连接有加热板13，所述干燥室11的左侧固定安装有风机14，所述槽体1的顶部铰接有顶板15，所述顶板15的中部固定套接有输液管16，所述输液管16的底部固定连接有分液管17，所述分液管17的底部固定安装有高压喷头18，所述分液管17的顶部固定连接有固定块19。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏金晖光伏有限公司 一种硅片的清洗槽

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