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【发明公布】硅片的清洗提篮_江苏金晖光伏有限公司_201910748962.8 

申请/专利权人:江苏金晖光伏有限公司

申请日:2019-08-14

公开(公告)日:2021-02-23

公开(公告)号:CN112397424A

主分类号:H01L21/673(20060101)

分类号:H01L21/673(20060101);H01L21/67(20060101)

优先权:

专利状态码:失效-发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态:2023.01.24#发明专利申请公布后的视为撤回;2021.02.23#公开

摘要:本发明涉及硅片加工技术领域,且公开了硅片的清洗提篮,包括部件一和部件二,所述部件一和部件二的正面均固定安装有分隔板,所述部件一和部件二正面的底部均固定安装有位于分隔板下方的支撑板,所述支撑板的上表面固定安装有缓冲垫,所述缓冲垫的上表面固定安装有固定槽,所述部件一正面的左右两侧和部件二正面的左右两侧分别固定安装有安装板一和安装板二,所述安装板一内侧的中部固定安装有滑块,所述安装板二内侧的中部开设有滑槽。该硅片的清洗提篮,通过滑块与滑槽滑动连接再通过螺栓穿过安装孔将滑块与滑槽固定连接,使得提篮的长度可以调节,能够放置许多不同尺寸的硅片,适用范围广,节省了采用设备的成本。

主权项:1.硅片的清洗提篮,包括部件一1和部件二2,其特征在于:所述部件一1和部件二2的正面均固定安装有分隔板3,所述部件一1和部件二2正面的底部均固定安装有位于分隔板3下方的支撑板4,所述支撑板4的上表面固定安装有缓冲垫5,所述缓冲垫5的上表面固定安装有固定槽6,所述部件一1正面的左右两侧和部件二2正面的左右两侧分别固定安装有安装板一7和安装板二10,所述安装板一7内侧的中部固定安装有滑块8,所述安装板二10内侧的中部开设有滑槽11,所述滑块8侧面的中部和滑槽11的中部均开设有安装孔9。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 江苏金晖光伏有限公司 硅片的清洗提篮

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