申请/专利权人:京元电子股份有限公司
申请日:2019-08-15
公开(公告)日:2021-02-23
公开(公告)号:CN112394030A
主分类号:G01N21/01(20060101)
分类号:G01N21/01(20060101);G01N21/892(20060101)
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2021.03.12#实质审查的生效;2021.02.23#公开
摘要:本发明提供了一种IC芯片外观检验模块,包括:一机台、两个光学式IC检验座、一成像模块及一驱动装置。该机台具有一输送单元,该两个光学式IC检验座呈相对应设置于该机台上,该成像模块设置于该机台上;该驱动装置连接该两个光学式IC检验座,从而依据该IC芯片的尺寸而调整该两个光学式IC检验座的间距。因此,本发明通过可调式光学式IC检验座,可依据不同IC芯片尺寸,快速调整两个光学式IC检验座的间距,且整体机台因具有可调式的光学式IC检验座,可减少光学式IC检验座因不同的IC芯片尺寸需重新采购与更换的费用,降低开发装置的成本。
主权项:1.一种IC芯片外观检验模块,用以外观检验一IC芯片,包括:一机台,具有一输送单元;两个光学式IC检验座,呈相对应设置于该机台上;一成像模块,设置于该机台上;以及一驱动装置,连接该两个光学式IC检验座,从而依据该IC芯片的尺寸而调整该两个光学式IC检验座的间距。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 京元电子股份有限公司 IC芯片外观检验模块
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