申请/专利权人:深圳市聚飞光电股份有限公司
申请日:2019-08-15
公开(公告)日:2021-02-23
公开(公告)号:CN112397459A
主分类号:H01L23/31(20060101)
分类号:H01L23/31(20060101);H01L23/488(20060101);H01L21/56(20060101)
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2021.03.12#实质审查的生效;2021.02.23#公开
摘要:本发明提供一种半导体封装器件及其封装方法,半导体封装器件包括倒装半导体芯片、碗杯、盖板;通过将倒装半导体芯片与碗杯底部电连接;在由0族元素组成的稀有气体环境中,将所述盖板固定在所述碗杯顶部以形成密闭的密封腔,所述密封腔的气压低于外界环境气压,本发明提供的半导体封装器件内部密封且处于由0族元素组成的低压稀有气体环境中,可以避免回流焊过程气体膨胀损坏器件,也能够避免填充物或气孔对器件的影响;同时,稀有气体能够对封装器件内部元件形成有效保护。
主权项:1.一种半导体封装器件封装方法,其特征在于,包括:步骤S1、将倒装半导体芯片与碗杯底部电连接;步骤S2、在仅由0族元素组成的稀有气体环境中,将盖板固定在所述碗杯顶部以形成密闭的密封腔,所述密封腔的气压低于外界环境气压。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 深圳市聚飞光电股份有限公司 一种半导体封装器件及其封装方法
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