申请/专利权人：深圳市海博源光电科技有限公司

申请日：2019-08-19

公开（公告）日：2021-02-23

公开（公告）号：CN112387693A

主分类号：B08B3/12(20060101)

分类号：B08B3/12(20060101);B08B3/08(20060101);G03F1/82(20120101)

优先权：

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的驳回

法律状态：2022.12.30#发明专利申请公布后的驳回;2021.03.12#实质审查的生效;2021.02.23#公开

摘要：本发明公开了一种掩膜板的清洗方法及清洗装置，该方法包括以下步骤：将待清洗的掩膜板放入有机清洗剂中进行超音波浸泡清洗，将浸泡清洗后的掩膜板采用所述有机清洗剂进行超音波摇动清洗，将超音波摇动清洗后的掩膜板放入电解液中进行电解处理以及超音波纯水清洗；其中，所述有机清洗剂由以下原料按重量百分比组成：环己酮45‑65％，甲苯0.5‑10％，二丙酮醇2‑15％，丙酮20‑50％。本发明有机清洗剂不会破坏掩膜板的尺寸和而且具有重复使用性，效果得到相关生产厂商的高度认可。对比目前市售有机清洗剂，电解处理步骤前只有一种溶剂，无需分类一次性搞定，而且洗脱效果更好、符合欧盟RoHS标准，确保被清洗的掩膜板在真空环境下不会释放酸性，从而杜绝对掩膜板的表面影响。

主权项：1.一种掩膜板的清洗方法，其特征在于，其包括以下步骤：将待清洗的掩膜板放入有机清洗剂中进行超音波浸泡清洗；将浸泡清洗后的掩膜板采用所述有机清洗剂进行超音波摇动清洗；将超音波摇动清洗后的掩膜板放入电解液中进行电解处理；以及将电解处理后的掩膜板进行超音波纯水清洗；其中，所述有机清洗剂由以下原料按重量百分比组成：环己酮45-65％，甲苯0.5-10％，二丙酮醇2-15％，丙酮20-50％。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳市海博源光电科技有限公司 一种掩膜板的清洗方法及清洗装置

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