申请/专利权人：长鑫存储技术有限公司

申请日：2019-08-19

公开（公告）日：2021-02-23

公开（公告）号：CN112387627A

主分类号：B08B1/00(20060101)

分类号：B08B1/00(20060101);B08B15/00(20060101);B08B13/00(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.03.12#实质审查的生效;2021.02.23#公开

摘要：本公开涉及半导体技术领域，提出了一种清洁机构、清洁车及物料自动搬运系统，清洁机构用于清洁顶置缓冲器上的反光板，清洁机构包括：承载组件和清洁件，承载组件相对于顶置缓冲器位置可调节地设置；清洁件可拆卸地设置在承载组件上。本公开的清洁机构通过承载组件和清洁件可以实现对顶置缓冲器上的反光板自动清洁。在具体清洁时，承载组件带动清洁件移动到具体清洁位置，然后清洁件完成对反光板的清洁。由于承载组件可以相对于顶置缓冲器移动，即在整个清洁过程基本实现自动清洁，整个清洁过程较为高效。

主权项：1.一种清洁机构，其特征在于，用于清洁顶置缓冲器上的反光板，所述清洁机构包括：承载组件，所述承载组件相对于所述顶置缓冲器位置可调节地设置；清洁件，所述清洁件可拆卸地设置在所述承载组件上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 长鑫存储技术有限公司 清洁机构、清洁车及物料自动搬运系统

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