申请/专利权人：株式会社岛津制作所

申请日：2020-07-17

公开（公告）日：2021-02-23

公开（公告）号：CN112394079A

主分类号：G01N23/2252(20180101)

分类号：G01N23/2252(20180101)

优先权：["20190819 JP 2019-149698"]

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的撤回

法律状态：2024.02.23#发明专利申请公布后的撤回;2021.03.12#实质审查的生效;2021.02.23#公开

摘要：本发明提供一种电子束微区分析仪。从输入部13选择易于因被照射电子束而向试样外散逸的元素S10。另外，从输入部13选定根据定性定量分析的结果确定为微量元素的微量范围S20。然后，数据处理部11在执行定性定量分析之前，针对在S10中选择出的元素执行先行测定元素测定处理S30，之后，执行定性定量分析处理S40。接着，数据处理部11根据定性定量分析的结果，来确定在S20中设定的微量范围内包含的微量元素，针对所确定的微量元素执行微量元素测定处理S50。

主权项：1.一种电子束微区分析仪，具备：波长色散型的分光器，其构成为检测从被照射了电子束的试样产生的特性X射线；以及处理装置，其构成为基于由所述分光器检测的特性X射线来执行第一处理，在该第一处理中，执行定性分析，并且获取通过所述定性分析鉴定的元素的定量值，其中，所述处理装置构成为：在执行所述第一处理之前，针对预先选择出的元素，执行获取在该元素的分析中所使用的特性X射线的峰强度的第二处理，针对所述选择出的元素，使用所述第二处理的测定结果执行该元素的分析。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社岛津制作所 电子束微区分析仪

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