申请/专利权人：家登精密工业股份有限公司

申请日：2020-08-03

公开（公告）日：2021-02-23

公开（公告）号：CN112394612A

主分类号：G03F1/66(20120101)

分类号：G03F1/66(20120101);G03F1/22(20120101)

优先权：["20190816 US 62/887,753","20200715 US 16/929,748"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.03.12#实质审查的生效;2021.02.23#公开

摘要：一种光掩模收容装置，包含一上盖、一下盖及一柔性接触部件。该上盖具有一顶部和一覆盖部，该覆盖部围绕该顶部。该下盖具有一承载部和一周围结构，该周围结构围绕该承载部。该柔性接触部件配置成当该上盖和该下盖结合时横向延伸于该覆盖部和该周围结构之间，以及自该装置的一内侧延伸至该装置的一外侧，以缓冲该上盖和该下盖的结合。

主权项：1.一种光掩模收容装置，其特征在于，该光掩模收容装置包含：一上盖，具有一顶部和一覆盖部，该覆盖部围绕该顶部；一下盖，具有一承载部和一周围结构，该周围结构围绕该承载部，且当上盖和下盖结合时该周围结构面对该覆盖部；及一柔性接触部件，配置成当该上盖和该下盖结合时横向延伸于该覆盖部和该周围结构之间，以缓冲该上盖和该下盖的结合。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 家登精密工业股份有限公司 光掩模收容装置

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