申请/专利权人：新科实业有限公司

申请日：2020-07-30

公开（公告）日：2021-02-23

公开（公告）号：CN112399325A

主分类号：H04R31/00(20060101)

分类号：H04R31/00(20060101);H04R19/00(20060101);H04R19/04(20060101);B01D39/14(20060101);B01D39/16(20060101);B01D39/20(20060101);B01D69/12(20060101);B01D67/00(20060101)

优先权：["20190815 JP 2019-149059"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.06.17#实质审查的生效;2021.02.23#公开

摘要：本发明涉及薄膜过滤件、薄膜过滤基板、MEMS麦克风、及其制造方法。其中，一种薄膜过滤件，包括：薄膜部，所述薄膜部具有膜表面和膜后表面，所述膜后表面布置在所述膜表面的后侧；多个通孔，所述多个通孔形成为从所述膜表面穿透所述薄膜部到所述膜后表面，所述通孔沿与所述膜表面成锐角或钝角的倾斜方向形成；和条形内壁表面。所述条形内壁表面包括条状部，所述条状部沿所述倾斜方向形成。所述条形内壁表面形成在相应通孔内。

主权项：1.一种薄膜过滤件，包括：薄膜部，具有膜表面和膜后表面，所述膜后表面布置在所述膜表面的后侧；多个通孔，形成为从所述膜表面穿透所述薄膜部到所述膜后表面，所述通孔沿与所述膜表面成锐角或钝角的倾斜方向形成；以及条形内壁表面，具有沿所述倾斜方向形成的条状部，所述条形内壁表面形成在相应通孔内。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 新科实业有限公司 薄膜过滤件、薄膜过滤基板、MEMS麦克风、及其制造方法

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