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【发明公布】光罩收容装置_家登精密工业股份有限公司_202010781434.5 

申请/专利权人:家登精密工业股份有限公司

申请日:2020-08-06

公开(公告)日:2021-02-23

公开(公告)号:CN112389846A

主分类号:B65D43/06(20060101)

分类号:B65D43/06(20060101);B65D43/08(20060101);B65D51/16(20060101)

优先权:["20190816 US 62/887,753","20200708 US 16/923,458"]

专利状态码:有效-授权

法律状态:2022.08.26#授权;2021.03.12#实质审查的生效;2021.02.23#公开

摘要:一种光罩收容装置包含:一上盖,具有一顶部和一覆盖部,该覆盖部围绕该顶部;及一下盖,具有一承载部和一周围结构,该周围结构围绕该承载部。该上盖与该下盖结合时,其间定义一通道使装置的一光罩容置空间未封闭。

主权项:1.一种光罩收容装置,包含:一上盖,具有一顶部和一覆盖部,该覆盖部围绕该顶部;一下盖,具有一承载部和一周围结构,该周围结构围绕该承载部;及多个支撑柱,将该上盖抬升于该下盖上方,其特征在于,当该上盖与该下盖结合时,该承载部与该上盖的顶部和覆盖部定义一光罩容置空间,该上盖的覆盖部面对该下盖的周围结构,该上盖的覆盖部的至少一部分与该下盖的周围结构的至少一部分借由多个该支撑柱而定义一通道,该通道使该光罩容置空间未封闭。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 家登精密工业股份有限公司 光罩收容装置

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