申请/专利权人：乐人株式会社

申请日：2020-08-12

公开（公告）日：2021-02-23

公开（公告）号：CN112394071A

主分类号：G01N21/956(20060101)

分类号：G01N21/956(20060101)

优先权：["20190816 KR 10-2019-0100360"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.03.12#实质审查的生效;2021.02.23#公开

摘要：本发明的基板缺陷检查装置包括：移动工作台，将基板移动到检查位置；照明，为获取拍摄影像，将规定的光照射到基板；至少一个线扫描摄像机，以规定线为单位拍摄基板；至少一个区域摄像机，以规定区域为单位拍摄基板；数据库，存储用于检测基板缺陷的影像；控制部，用移动工作台来移动基板的位置，并控制照明来由线扫描摄像机获取拍摄基板的镀层部分得到的影像和拍摄阻焊层部分得到的影像，基于获取的影像，将基板的状态判定为正常、缺陷和重新检查中的一种，由此检测出初次缺陷，对判定为重新检查的基板控制照明，获取由区域摄像机拍摄基板得到的基板影像，基于获取的基板影像，将基板的状态判定为正常和缺陷中的一种，由此检测出再次缺陷。

主权项：1.一种基板缺陷检查装置，其中，包括：移动工作台，将基板移动到检查位置；照明，为了获取拍摄影像，将规定的光照射到基板上；至少一个线扫描摄像机，用于以规定的线为单位拍摄所述基板；至少一个区域摄像机，用于以规定的区域为单位拍摄所述基板；数据库，存储用于检测所述基板的缺陷的影像；以及控制部，利用所述移动工作台来移动所述基板的位置，并控制所述照明来由所述线扫描摄像机获取拍摄所述基板的镀层部分得到的影像和拍摄阻焊层部分得到的影像，基于所获取的所述影像，将所述基板的状态判定为正常、缺陷和重新检查中的一种，由此检测出初次缺陷，然后针对判定为重新检查的所述基板控制所述照明，来获取由区域摄像机拍摄所述基板得到的基板影像，基于所获取的基板影像，将所述基板的状态判定为正常和缺陷中的一种，由此检测出再次缺陷。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 乐人株式会社 基板缺陷检查装置及方法

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