申请/专利权人：株式会社东进世美肯

申请日：2019-07-17

公开（公告）日：2021-02-23

公开（公告）号：CN112399999A

主分类号：C09G1/02(20060101)

分类号：C09G1/02(20060101);C09G1/04(20060101);C09K3/14(20060101);H01L21/306(20060101)

优先权：["20180720 KR 10-2018-0084631","20190716 KR 10-2019-0085560"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.08.16#授权;2021.08.03#实质审查的生效;2021.02.23#公开

摘要：本发明提供一种化学机械研磨组合物、化学机械研磨浆料及基板研磨方法，即使减少金属总含量，也可实现等同或更高于传统研磨剂的研磨速度，或者当使用相同于传统的金属总含量时，可实现明显高于传统研磨剂的研磨速度。化学机械研磨组合物包含铁基金属催化剂和镁基金属催化剂，金属催化剂的总含量中铁基金属催化剂的金属含量等于或更多于镁基金属催化剂的金属含量。

主权项：1.一种化学机械研磨组合物，包含：铁基金属催化剂；及镁基金属催化剂，金属催化剂混合物的总金属含量中所述铁基金属催化剂的金属含量等于或更多于所述镁基金属催化剂的金属含量。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社东进世美肯 化学机械研磨组合物、化学机械研磨浆料及基板研磨方法

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