【发明公布】基板处理装置以及基板处理系统_株式会社斯库林集团_201980045760.5 

申请/专利权人:株式会社斯库林集团

申请日:2019-09-03

发明/设计人:桥本光治;清水进二;堀口博司;山本真弘

公开(公告)日:2021-02-23

代理机构:隆天知识产权代理有限公司

公开(公告)号:CN112400214A

代理人:宋晓宝;向勇

主分类号:H01L21/02(20060101)

地址:日本京都府

分类号:H01L21/02(20060101);H01L21/304(20060101);H01L21/306(20060101)

优先权:["20180920 JP 2018-176481"]

专利状态码:在审-公开

法律状态:2021.02.23#公开

摘要:本发明的目的在于提升基板处理装置以及基板处理系统的各个处理单元中的处理的精度。基板处理装置具有多个处理单元、搬运单元、多个传感器部、存储部以及一个以上的控制单元。多个处理单元根据规定处理的条件的规程对基板实施处理。搬运单元将一组基板中的多个基板依次搬运至多个处理单元。多个传感器部取得关于各个处理单元的基板处理的状况的一种以上的指标相关的信号。存储部基于多个传感器部所取得的信号,存储关于各个处理单元的基板处理的状况的一种以上的指标相关的数据组。一个以上的控制单元针对使用一个以上的处理单元对一组基板中的至少一片以上的基板进行的处理,基于数据组修正规程的至少一部分。

主权项:1.一种基板处理装置,其中,具有:多个处理单元,根据用以规定处理的条件的规程对基板实施处理;搬运单元,将一组基板中的多个基板依次搬运至多个所述处理单元;多个传感器部,取得关于各个所述处理单元的基板处理的状况的一种以上的指标相关的信号;存储部,基于多个所述传感器部所取得的信号,存储关于多个所述处理单元各自的基板处理的状况的一种以上的指标相关的数据组;以及一个以上的控制单元,针对使用多个所述处理单元中的一个以上的处理单元对一组所述基板中的至少一个以上的基板进行的处理,基于所述数据组来修正所述规程的至少一部分。

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权利要求:

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