申请/专利权人：鑫天虹(厦门)科技有限公司

申请日：2020-11-11

公开（公告）日：2021-02-23

公开（公告）号：CN112391613A

主分类号：C23C16/455(20060101)

分类号：C23C16/455(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.05.20#授权;2021.03.12#实质审查的生效;2021.02.23#公开

摘要：本发明提供一种在粉末上形成薄膜的原子层沉积装置，主要包括一真空腔体、一轴封装置及一驱动单元。轴封装置包括一外管体及一内管体，其中内管体设置在外管体的容置空间内。驱动单元通过外管体驱动真空腔体转动，以搅动真空腔体的反应空间内的粉末。内管体的连接空间内设置一抽气管线及一进气管线，其中抽气管线用以抽出反应空间内的气体。进气管线用以将非反应气体输送至反应空间，以扬起反应空间内的粉末，并用以将前驱物气体输送至反应空间，以在粉末的表面形成厚度均匀的薄膜。

主权项：1.一种在粉末上形成薄膜的原子层沉积装置，其特征在于，包括：一真空腔体，包括一反应空间用以容置复数个粉末；一轴封装置，包括一外管体及一内管体，其中该外管体具有一容置空间，用以容置该内管体；一驱动单元，通过该轴封装置连接该真空腔体，并经由该外管体带动该真空腔体相对于该内管体转动；至少一抽气管线，位于该内管体内，流体连接该真空腔体的该反应空间，并用以抽出该反应空间内的一气体；及至少一进气管线，位于该内管体内，流体连接该真空腔体的该反应空间，并用以将一前驱物或一非反应气体输送至该反应空间，其中该非反应气体用以吹动该反应空间内的该粉末。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 鑫天虹(厦门)科技有限公司 在粉末上形成薄膜的原子层沉积装置

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