申请/专利权人:北京邮电大学
申请日:2020-12-01
公开(公告)日:2021-02-23
公开(公告)号:CN112394450A
主分类号:G02B6/14(20060101)
分类号:G02B6/14(20060101);G02B6/126(20060101)
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2021.09.03#授权;2021.03.12#实质审查的生效;2021.02.23#公开
摘要:本公开提供一种模式转换器,包括:硅衬底、位于硅衬底一侧的二氧化硅层,以及位于二氧化硅层远离硅衬底的一侧且同层设置的硅层、第一介质模块层和第二介质模块层,其中,第一介质模块层部分嵌入硅层,第二介质模块层嵌入硅层,第一介质模块层在硅衬底上投影呈镜像对称且共用上底的两个直角梯形,第二介质模块层在硅衬底上投影呈直角梯形。
主权项:1.一种模式转换器,其特征在于,包括:硅衬底、位于硅衬底一侧的二氧化硅层,以及位于二氧化硅层远离硅衬底的一侧且同层设置的硅层、第一介质模块层和第二介质模块层,其中:第一介质模块层部分嵌入硅层,第二介质模块层嵌入硅层;硅层、第一介质模块层嵌入硅层的部分、及第二介质模块层在硅衬底上的正投影拼合成矩形;第一介质模块层在硅衬底上的正投影包括闭环依次连接的第一边、第二边、第三边、第四边和第五边,其中,第一边和第三边平行,第二边与第一边和第三边正交,第四边与第三边的夹角等于第五边与第一边的夹角且均为锐角,第一边和第三边与矩形的宽边平行且部分伸出矩形外,第二边位于矩形外;第二介质模块层在硅衬底上的正投影包括闭环依次连接呈直角梯形的第六边、第七边、第八边和第九边,其中,第六边为直角梯形的下底、第七边为直角梯形的斜腰、第八边为直角梯形的上底,第九边为直角梯形的直腰,第九边与矩形的长边平齐;第一边和第六边位于同一直线上,第三边和第八边位于同一直线上,第二边到相邻的矩形长边的距离等于第八边的长度。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 北京邮电大学 模式转换器及其制造方法
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