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【实用新型】校正机和镀膜夹具_东晶电子金华有限公司_202020751895.3 

申请/专利权人:东晶电子金华有限公司

申请日:2020-05-09

公开(公告)日:2021-02-23

公开(公告)号:CN212582002U

主分类号:C23C14/50(20060101)

分类号:C23C14/50(20060101)

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2021.02.23#授权

摘要:本实用新型提供了一种校正机和镀膜夹具,校正机用于校正镀膜夹具,校正机包括平台、定位组件和校正组件;平台用于放置镀膜夹具;定位组件设置于平台的侧方;校正组件设置于平台的侧方,与定位组件相对设置。通过该校正机对镀膜夹具进行校正,减小因镀膜夹具各个部件之间的装配误差,而对镀膜夹具的装配精度的影响,使得镀膜夹具的装配精度更加精确,进而减小镀膜后的图案中心相对石英晶片中心位置的偏差,提升石英晶体谐振器的频率的一致性,满足晶体谐振器高精度化的要求。

主权项:1.一种校正机,其特征在于,所述校正机用于校正镀膜夹具,所述校正机包括:平台,用于放置所述镀膜夹具;定位组件,所述定位组件设置于所述平台的侧方;校正组件,所述校正组件设置于所述平台的侧方,与所述定位组件相对设置;所述定位组件包括第一定位部和第二定位部,所述第一定位部设置于所述平台的一侧,所述第二定位部设置于所述平台的另一侧,与所述第一定位部相邻设置;所述校正组件包括校正部件和驱动部件,所述校正部件与所述定位组件相对设置,所述驱动部件包括动力输出端,所述动力输出端与所述校正部件相连接,以驱动所述校正部件相对所述定位组件滑动。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 东晶电子金华有限公司 校正机和镀膜夹具

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