【实用新型】一种MEMS电容式开关_瑞声声学科技(深圳)有限公司_202020917609.6 

申请/专利权人：瑞声声学科技(深圳)有限公司

申请日：2020-05-26

发明/设计人：孔令成;朱雁青;王超;李杨

公开（公告）日：2021-02-23

代理机构：深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙)

公开（公告）号：CN212587408U

代理人：龙丹丹

主分类号：H01H36/00(20060101)

地址：518057 广东省深圳市南山区高新区南区粤兴三道6号南京大学深圳产学研大楼A座

分类号：H01H36/00(20060101);B81B3/00(20060101);B81B7/02(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.02.23#授权

摘要：本实用新型提供了一种MEMS电容式开关，包括衬底，设置于衬底表面的介质层、通过锚点架设在介质层上方的金属梁、设置于介质层表面并与金属梁相对的有效电极、设置于有效电极周侧的驱动电极以及设置于驱动电极和金属梁之间的介质柱，介质柱为柔性材质。本实用新型的金属梁在静电力作用下被拉至有效电容运动的过程中，碰到介质柱，由于介质柱为柔性材质，介质柱会被压缩，从而使得金属梁下表面与有效电容的上表面完全接触，提高了关态电容。

主权项：1.一种MEMS电容式开关，包括衬底，设置于所述衬底表面的介质层、通过锚点架设在所述介质层上方的金属梁、设置于所述介质层表面并与所述金属梁相对的有效电极、设置于所述有效电极周侧的驱动电极以及设置于所述驱动电极和所述金属梁之间的介质柱，其特征在于，所述介质柱设置于所述有效电极的周侧，所述介质柱为柔性材质。

全文数据：

权利要求：

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