申请/专利权人：中国电子科技集团公司第四十六研究所

申请日：2020-06-02

公开（公告）日：2021-02-23

公开（公告）号：CN212582037U

主分类号：C30B29/10(20060101)

分类号：C30B29/10(20060101);C30B28/02(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-未缴年费专利权终止

法律状态：2023.06.09#未缴年费专利权终止;2021.02.23#授权

摘要：本实用新型涉及一种磷锗锌多晶加压合成装置，装置包括：主体炉体与安瓿，主体炉体包括内部炉体、外层加热装置、气压控制装置、冷却装置、密封法兰Ⅰ和密封法兰Ⅱ；内部炉体内沿轴向分成九个温区，冷却装置和外层加热装置环绕包裹在内部炉体的外围，设置在内部炉体各温区的对应位置，气压控制装置设置在内部炉体的两端；安瓿包括保护容器、合成容器、坩埚，安瓿以限制隔片为支撑放置在内部炉体内；使用该装置合成磷锗锌多晶，减少合成过程石英安瓿内外压差，消除了磷饱和蒸气压失控带来的爆炸的危险，可以单次进行大批量合成；安瓿保护容器可以限制合成容器的位置，限制隔片亦能起到支撑架的作用，能够根据不同安瓿大小、温区位置进行自由调整。

主权项：1.一种磷锗锌多晶加压合成装置，其特征在于：包括主体炉体（1）与安瓿（2），所述主体炉体（1）包括内部炉体（1-1）、外层加热装置（1-2）、气压控制装置（1-3）、冷却装置（1-4）、密封法兰Ⅰ（1-51）和密封法兰Ⅱ（1-52）；所述内部炉体（1-1）是耐压金属管状结构，呈水平放置，可承受的压力不低于100atm，密封法兰Ⅰ（1-51）和密封法兰Ⅱ（1-52）分别设置在内部炉体（1-1）的两端，所述气压控制装置（1-3）有两套，分别是气压控制装置Ⅰ1-31和气压控制装置Ⅱ（1-32），所述内部炉体（1-1）的一端通过密封法兰Ⅰ（1-51）与所述气压控制装置Ⅰ1-31连接，另一端通过密封法兰Ⅱ（1-52）与气压控制装置Ⅱ（1-32）连接；所述安瓿（2）以限制隔片（2-11）为支撑放置在内部炉体（1-1）内；所述内部炉体（1-1）内沿轴向分成九个温区，从连接气压控制装置Ⅰ1-31的一端排起，依次是：保护温区Ⅰ（1-17）、反应副温区Ⅰ（1-12）、反应主温区（1-11）、反应副温区Ⅱ（1-13）、过渡温区（1-19）、合成副温区Ⅰ（1-15）、合成主温区（1-14）、合成副温区Ⅱ（1-16）、保护温区Ⅱ（1-18），反应副温区Ⅰ（1-12）、反应主温区（1-11）、反应副温区Ⅱ（1-13）综合一起组成反应温区，合成副温区Ⅰ（1-15）、合成主温区（1-14）、合成副温区Ⅱ（1-16）综合一起组成合成温区；所述外层加热装置（1-2）包括八个外层加热装置和一个保温装置，分别环绕包裹在内部炉体（1-1）的外围，与内部炉体（1-1）的九个温区对应设置，依次为保护温区Ⅰ外层加热装置（1-27）、反应副温区Ⅰ外层加热装置Ⅰ（1-22）、反应主温区外层加热装置（1-21）、反应副温区Ⅱ外层加热装置（1-23）、过渡温区保温装置（1-29）、合成副温区Ⅰ外层加热装置（1-25）、合成主温区外层加热装置（1-24）、合成副温区Ⅱ外层加热装置（1-26）、保护温区Ⅱ外层加热装置（1-28）；所述冷却装置（1-4）有三套，分别是保护温区Ⅰ冷却装置（1-47）、保护温区Ⅱ冷却装置（1-48）、过渡温区冷却装置（1-49），所述过渡温区冷却装置（1-49）贴合内部炉体（1-1）设置在过渡温区保温装置（1-29）的内部，与外层加热装置（1-2）、气压控制装置（1-3）联动控制；所述保护温区Ⅰ冷却装置（1-47）和保护温区Ⅱ冷却装置（1-48）分别设置在保护温区Ⅰ（1-17）和保护温区Ⅱ（1-18）的外侧，同步控制；所述安瓿（2）包括保护容器（2-1）、合成容器（2-2）、反应坩埚（2-31）与合成坩埚（2-32），所述反应坩埚（2-31）和合成坩埚（2-32）分别放置在所述合成容器（2-2）内的两端，带有两个坩埚的合成容器（2-2）放置在所述的保护容器（2-1）内；保护容器（2-1）是外形为两端开口的圆筒，圆筒两端下侧开有数个卡槽（2-10），根据合成容器（2-2）的大小在保护容器（2-1）的两端分别将限制隔片（2-11）插入所述卡槽（2-10）；合成容器（2-2）是一端开口的圆筒；所述气压控制装置（1-3）使用化学反应惰性的气体作为附加控制气体，使用高纯氮气；气体从气压控制装置Ⅰ（1-31）流入内，依次经过保护温区Ⅰ（1-17）、反应副温区Ⅰ（1-12）、反应主温区（1-11）、反应副温区Ⅱ（1-13）、过渡温区（1-19）、合成副温区Ⅰ（1-15）、合成主温区（1-14）、合成副温区Ⅱ（1-16），从保护温区Ⅱ（1-18）流出进入气压控制装置Ⅱ（1-32）。

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百度查询： 中国电子科技集团公司第四十六研究所 一种磷锗锌多晶加压合成装置

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