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【实用新型】一种微热板及包括该微热板的MEMS气体传感器_郑州炜盛电子科技有限公司_202020979776.3 

申请/专利权人:郑州炜盛电子科技有限公司

申请日:2020-06-02

公开(公告)日:2021-02-23

公开(公告)号:CN212586286U

主分类号:G01N27/12(20060101)

分类号:G01N27/12(20060101)

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2021.02.23#授权

摘要:本实用新型提供一种微热板及包括该微热板的MEMS气体传感器,所述微热板包括:硅衬底,其背部设置绝热腔;支撑层,其布设在所述绝热腔上方;加热电极,所述加热电极布设在所述支撑层上表面,且所述加热电极的中心位置空出测量区域;测量电极,所述测量电极布设在所述测量区域中;敏感膜,其设置在所述测量电极上方,并与所述测量电极电连接;以及加热电极焊盘和测量电极焊盘,所述加热电极焊盘与所述加热电极电连接,所述测量电极焊盘与测量电极电连接。相较于现有技术中三明治结构式微热板,加热电极和测量元设置在同一层的新型微热板,有效解决了高温下多层结构中的热机械应力问题,且具备稳定性强和可靠性高的优点。

主权项:1.一种微热板,其特征在于,所述微热板包括:硅衬底,其背部设置绝热腔;支撑层,其布设在所述绝热腔上方;加热电极,所述加热电极布设在所述支撑层上表面,且所述加热电极的中心位置空出测量区域;测量电极,所述测量电极布设在所述测量区域中;敏感膜,其设置在所述测量电极上方,并与所述测量电极电连接;以及位于所述支撑层上表面的加热电极焊盘和测量电极焊盘,所述加热电极焊盘与所述加热电极电连接,所述测量电极焊盘与测量电极电连接。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 郑州炜盛电子科技有限公司 一种微热板及包括该微热板的MEMS气体传感器

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