申请/专利权人:株式会社尼康
申请日:2016-09-29
公开(公告)日:2021-02-26
公开(公告)号:CN112415863A
主分类号:G03F7/20(20060101)
分类号:G03F7/20(20060101)
优先权:["20150930 JP 2015-193726"]
专利状态码:有效-授权
法律状态:2023.05.23#授权;2021.03.16#实质审查的生效;2021.02.26#公开
摘要:本发明提供一种液晶曝光装置,液晶曝光装置10具备配置在投影光学系统16下方用以保持基板P的基板保持具24、沿XY平面使基板保持具移动的第1驱动部、测量基板保持具的位置信息的读头68S、支承读头并能在XY平面内移动的读头载台64、以及在X轴、Y轴方向移动读头载台的第2驱动部,该第2驱动部,在以第1驱动部使基板保持具往X轴或Y轴方向移动时,使读头载台往X轴或Y轴方向移动。
主权项:1.一种曝光装置,所述曝光装置经由投影光学系统利用照明光使物体曝光,其中,所述曝光装置具备:第1移动体,所述第1移动体配置在所述投影光学系统的下方并保持所述物体;第1驱动部,所述第1驱动部在与所述投影光学系统的光轴正交的既定平面内彼此正交的第1方向、第2方向上使所述第1移动体移动;测量部,所述测量部测量所述第1移动体的位置信息;第2移动体,所述第2移动体支承所述测量部并能够在所述既定平面内移动;以及第2驱动部,所述第2驱动部在所述第1方向、第2方向上使所述第2移动体移动,所述第2驱动部在利用所述第1驱动部使所述第1移动体向所述第1方向或所述第2方向移动时,使所述第2移动体向所述第1方向或所述第2方向移动。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 株式会社尼康 曝光装置、平面显示器的制造方法、组件制造方法、及曝光方法
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