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【发明授权】一种高纯铜旋转靶的制备方法_东莞市欧莱溅射靶材有限公司;广东欧莱高新材料股份有限公司_202010251321.4 

申请/专利权人:东莞市欧莱溅射靶材有限公司;广东欧莱高新材料股份有限公司

申请日:2020-04-01

公开(公告)日:2021-02-26

公开(公告)号:CN111451314B

主分类号:B21C37/08(20060101)

分类号:B21C37/08(20060101);B21J5/00(20060101);B21J5/06(20060101);B21J5/08(20060101);C23C14/34(20060101)

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2021.02.26#授权;2020.08.21#实质审查的生效;2020.07.28#公开

摘要:本发明公开了一种高纯铜旋转靶的制备方法,包括1坯锭预处理步骤、2精密制管步骤、3靶材复合结构加工与焊接和4靶材稳定化处理步骤。通过本发明的高纯铜旋转靶的制备方法,得到的晶粒组织均匀,晶粒细化,旋转靶结构稳定性强。

主权项:1.一种高纯铜旋转靶的制备方法,其特征在于:包括以下步骤,1坯锭预处理步骤,将高纯铜圆铸锭加热和保温后进行镦粗,使高纯铜圆铸锭形成高纯铜方锭,将高纯铜方锭进行滚圆拔长形成圆锭,将圆锭进行初步机加工得到设定尺寸的预处理的铜锭;2精密制管步骤,将铜锭进行挤压后冷轧,对冷轧后的铜锭进行空冷后退火,包括以下子步骤,2.1预加热步骤,将设定尺寸的预处理铜锭放入温度为850℃至950℃的加热设备中加热1至1.5小时,2.2挤压步骤,对加热后的预处理的铜锭进行挤压,将挤压机的挤压筒的温度设置在850℃至900℃,将预处理的铜锭按照设定外径和内径的尺寸挤出形成挤压铜靶管,2.3冷轧前准备步骤,对挤压铜靶管进行校直,校直后的挤压铜靶管进行锯切,将锯切后的挤压铜靶管进行酸洗,形成冷轧预处理管,2.4冷轧轧制步骤,将冷轧预处理管进行第一道次冷轧,将冷轧预处理管的外径和内径分别缩小4%至6%形成第一道冷轧管,将第一道冷轧管进行第二道次冷轧,将第一冷轧管的外径缩小4%至6%,内径缩小14%至18%,得到第二道冷轧管,将第二道冷轧管进行空冷至室温,2.5退火步骤,将空冷后的第二道冷轧管放入真空退火炉内进行真空低温热处理退火,得到高纯铜管,3靶材复合结构加工与焊接,在高纯铜管的两端分别焊接铜合金端头和铜合金尾盖,形成靶材整管,4靶材稳定化处理步骤,对靶材整管的焊接位置进行检测、热处理、校直,对靶材整管进行氦气检漏和机加工,得到高纯铜旋转靶材。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 东莞市欧莱溅射靶材有限公司;广东欧莱高新材料股份有限公司 一种高纯铜旋转靶的制备方法

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