申请/专利权人：长鑫存储技术有限公司

申请日：2019-09-24

公开（公告）日：2021-04-09

公开（公告）号：CN112635351A

主分类号：H01L21/67(20060101)

分类号：H01L21/67(20060101);H01L21/677(20060101);H01L21/68(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.04.19#授权;2021.04.27#实质审查的生效;2021.04.09#公开

摘要：本申请涉及一种智能定位工具及定位方法，该定位方法包括：放置移动部件，移动部件包括分别沿第一方向延伸的两纵向导轨和沿第二方向连接于两纵向导轨之间的横向导轨，横向导轨沿第一方向的可移动区域为定位区域；横向导轨上设置有横向移动滑块，横向移动滑块上设置有用于夹持标定组件的夹具；建立二维坐标系，读取设计文档并确定设计文档中待标定点在定位区域中的坐标位置；根据坐标位置控制横向移动滑块移动至待标定点的坐标位置处后，控制标定组件进行标定。通过读取设计文档中并确定所有待标定点的坐标位置，控制标定组件自动移动到坐标位置处进行标定，避免人工标定的误差，且提高设备组装效率。

主权项：1.一种智能定位工具，其特征在于，包括：移动部件，所述移动部件包括分别沿第一方向延伸的两纵向导轨和沿第二方向连接于两所述纵向导轨之间的横向导轨，所述横向导轨可沿所述第一方向移动，且所述横向导轨沿所述第一方向的可移动区域为定位区域；所述横向导轨上设置有横向移动滑块，所述横向移动滑块上设有用于夹持标定组件的夹具，所述第一方向和第二方向相互垂直；控制器，用于建立二维坐标系，读取设计文档并确定所述设计文档中待标定点在所述定位区域中的坐标位置，根据所述坐标位置控制所述横向导轨在所述纵向导轨上沿第一方向移动并控制所述横向移动滑块在所述横向导轨上沿所述第二方向移动，使所述横向移动滑块移动至所述待标定点的坐标位置处后，控制所述标定组件进行标定。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 长鑫存储技术有限公司 智能定位工具及智能定位方法

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