申请/专利权人：新奥科技发展有限公司

申请日：2019-10-09

公开（公告）日：2021-04-09

公开（公告）号：CN112637986A

主分类号：H05B6/72(20060101)

分类号：H05B6/72(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.01.24#授权;2021.04.27#实质审查的生效;2021.04.09#公开

摘要：本发明涉及微波加热技术领域，提供了一种波导伸缩偏转调节装置。该波导伸缩偏转调节装置包括波纹管、第一密封板、调节板、伸缩单元和偏转单元，波纹管用于套设在波导的外周；第一密封板与波纹管的第一端密封连接，波导与第一密封板滑动配合；调节板上设置有第二密封板，第二密封板与波纹管的第二端密封连接；伸缩单元包括设置在第一密封板上的伸缩装置和与伸缩装置连接的托板；偏转单元设置在托板上，用于带动调节板在托板上移动，以使波导相对于第一密封板摆动。本申请通过伸缩单元与偏转单元实现波导在真空条件下伸缩和摆动，有效调整微波发射口与真空室的相对距离与微波注入角度，达到调节微波与等离子体的耦合以及驱动效率的目的。

主权项：1.一种波导伸缩偏转调节装置，其特征在于，包括：波纹管，用于套设在波导的外周，所述波导与所述波纹管的第二端密封连接；第一密封板，设置在所述波纹管的第一端，所述第一密封板的一侧与所述波纹管的第一端密封连接，所述第一密封板的另一侧与真空室的端口连接，所述波导与所述第一密封板滑动配合；调节板，设置在所述波纹管的第二端，所述调节板上设置有第二密封板，所述波导穿设于所述第二密封板，所述第二密封板与所述波纹管的第二端密封连接；伸缩单元，包括设置在所述第一密封板上的伸缩装置和与所述伸缩装置连接的托板，所述伸缩装置的伸缩方向与所述波导的长度方向相适应；偏转单元，设置在所述托板上，用于带动与所述偏转单元固定连接的所述调节板相对于所述第一密封板移动，以使所述波导相对于所述第一密封板摆动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 新奥科技发展有限公司 波导伸缩偏转调节装置

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