申请/专利权人：北京大学

申请日：2019-10-09

公开（公告）日：2021-04-09

公开（公告）号：CN112629515A

主分类号：G01C19/5712(20120101)

分类号：G01C19/5712(20120101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.10.21#授权;2021.04.27#实质审查的生效;2021.04.09#公开

摘要：本发明公开了一种微机电轮式双水平轴陀螺，用于检测围绕水平面内X、Y轴的旋转，其特征在于：它包括外框、外环、内框、内环、敏感质量块、驱动梳齿、驱动检测梳齿、驱动连接梁、连接梁、扭转梁、检测电极、锚点和衬底，整个陀螺结构同时关于器件平面的X轴和Y轴对称。驱动梳齿连接在外框上，驱动检测梳齿连接在内框上，外框一方面通过驱动连接梁和锚点连接，另一方面通过连接梁和外环连接，内框一方面通过中间连接梁和中间锚点连接，另一方面通过连接梁和内环连接，敏感质量块一方面通过扭转梁和外环连接，另一方面通过扭转梁和内环连接，检测电极位于敏感质量块下方并固定在衬底上，结构层通过锚点和衬底固定连接。

主权项：1.一种微机电轮式双水平轴陀螺，用于检测围绕水平面内X、Y轴的旋转，其特征在于：它包括外框101、外环102、内框103、内环104、中心敏感质量块105、驱动梳齿106、驱动检测梳齿107、驱动连接梁108、连接梁[110，113，114]、扭转梁[111，112]、检测电极[401，402，403，404]、锚点[109，115]和衬底500，整个陀螺结构同时关于器件平面的X轴和Y轴对称，即关于器件结构中心中心对称。所述驱动梳齿106包括可动驱动梳齿1061和固定驱动梳齿1062；所述驱动检测梳齿107包括可动驱动检测梳齿1071和固定驱动检测梳齿1072；所述可动驱动梳齿1061连接在所述外框101上；所述可动驱动检测梳齿1071连接在所述内框103上；所述外框101一方面通过所述驱动连接梁108和所述锚点109连接，另一方面通过所述连接梁110和所述外环102连接；所述内框103一方面通过所述中间连接梁114和所述中间锚点115连接，另一方面通过所述连接梁113和所述内环104连接；所述中心敏感质量块105一方面通过所述扭转梁111和所述外环102连接，另一方面通过所述扭转梁112和所述内环104连接。所述检测电极[401，402，403，404]位于所述中心敏感质量块105下方并固定在所述衬底500上，结构层通过所述锚点[109，115]和所述衬底500固定连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京大学 一种微机电轮式双水平轴陀螺

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