【发明公布】一种微机电轮式双水平轴陀螺_北京大学_201910953192.0 

申请/专利权人:北京大学

申请日:2019-10-09

发明/设计人:赵前程;杨海兵;崔健

公开(公告)日:2021-04-09

代理机构:

公开(公告)号:CN112629515A

代理人:

主分类号:G01C19/5712(20120101)

地址:100871 北京市海淀区颐和园路5号北京大学

分类号:G01C19/5712(20120101)

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2021.04.09#公开

摘要:本发明公开了一种微机电轮式双水平轴陀螺,用于检测围绕水平面内X、Y轴的旋转,其特征在于:它包括外框、外环、内框、内环、敏感质量块、驱动梳齿、驱动检测梳齿、驱动连接梁、连接梁、扭转梁、检测电极、锚点和衬底,整个陀螺结构同时关于器件平面的X轴和Y轴对称。驱动梳齿连接在外框上,驱动检测梳齿连接在内框上,外框一方面通过驱动连接梁和锚点连接,另一方面通过连接梁和外环连接,内框一方面通过中间连接梁和中间锚点连接,另一方面通过连接梁和内环连接,敏感质量块一方面通过扭转梁和外环连接,另一方面通过扭转梁和内环连接,检测电极位于敏感质量块下方并固定在衬底上,结构层通过锚点和衬底固定连接。

主权项:1.一种微机电轮式双水平轴陀螺,用于检测围绕水平面内X、Y轴的旋转,其特征在于:它包括外框101、外环102、内框103、内环104、中心敏感质量块105、驱动梳齿106、驱动检测梳齿107、驱动连接梁108、连接梁[110,113,114]、扭转梁[111,112]、检测电极[401,402,403,404]、锚点[109,115]和衬底500,整个陀螺结构同时关于器件平面的X轴和Y轴对称,即关于器件结构中心中心对称。所述驱动梳齿106包括可动驱动梳齿1061和固定驱动梳齿1062;所述驱动检测梳齿107包括可动驱动检测梳齿1071和固定驱动检测梳齿1072;所述可动驱动梳齿1061连接在所述外框101上;所述可动驱动检测梳齿1071连接在所述内框103上;所述外框101一方面通过所述驱动连接梁108和所述锚点109连接,另一方面通过所述连接梁110和所述外环102连接;所述内框103一方面通过所述中间连接梁114和所述中间锚点115连接,另一方面通过所述连接梁113和所述内环104连接;所述中心敏感质量块105一方面通过所述扭转梁111和所述外环102连接,另一方面通过所述扭转梁112和所述内环104连接。所述检测电极[401,402,403,404]位于所述中心敏感质量块105下方并固定在所述衬底500上,结构层通过所述锚点[109,115]和所述衬底500固定连接。

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权利要求:

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