申请/专利权人：昭和电工材料株式会社

申请日：2018-09-25

公开（公告）日：2021-04-09

公开（公告）号：CN112640051A

主分类号：H01L21/304(20060101)

分类号：H01L21/304(20060101)

优先权：["20180726 JP PCT/JP2018/028105"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.04.27#实质审查的生效;2021.04.09#公开

摘要：本发明的浆料为含有磨粒及液态介质的浆料，其中，所述磨粒包含第1粒子及与该第1粒子接触的第2粒子，所述第1粒子含有铈氧化物，所述第2粒子含有铈化合物，并且由下述式1算出的Rsp值为1.60以上。式1：Rsp＝TbTav‑1；式中，Tav表示在所述磨粒的含量为2.0质量％的情况下所述浆料的利用脉冲NMR测定而获得的松弛时间单位：ms，Tb表示在所述磨粒的含量为2.0质量％的情况下以离心加速度2.36×105G对所述浆料进行离心分离50分钟时，所获得的上清液的利用脉冲NMR测定而获得的松弛时间单位：ms。

主权项：1.一种浆料，其为含有磨粒及液态介质的浆料，其中，所述磨粒包含第1粒子及与该第1粒子接触的第2粒子，所述第1粒子含有铈氧化物，所述第2粒子含有铈化合物，由下述式1算出的Rsp值为1.60以上，Rsp＝TbTav-11式中，Tav表示在所述磨粒的含量为2.0质量％的情况下所述浆料的利用脉冲NMR测定而获得的松弛时间，所述松弛时间Tav的单位为ms；Tb表示在所述磨粒的含量为2.0质量％的情况下以离心加速度2.36×105G对所述浆料进行离心分离50分钟时，所获得的上清液的利用脉冲NMR测定而获得的松弛时间，所述松弛时间Tb的单位为ms。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 昭和电工材料株式会社 浆料、研磨液的制造方法以及研磨方法

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