申请/专利权人：强一半导体(苏州)有限公司

申请日：2020-07-01

公开（公告）日：2021-04-09

公开（公告）号：CN112630480A

主分类号：G01R1/067(20060101)

分类号：G01R1/067(20060101);G01R1/073(20060101);G01R31/26(20140101);G01R35/00(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.08.16#授权;2021.04.27#实质审查的生效;2021.04.09#公开

摘要：本发明一种具有侧出气孔的功率器件高温高压测试用探针卡属于半导体器件测试技术领域；该探针卡从上到下依次设置进气系统、PCB板、转接层、导引板和探针；进气系统底部具有多个下出气孔和侧出气孔，PCB板上分布有与下出气孔位置、形状和数量均相同的第一通孔，转接层上分布有与下出气孔位置、形状和数量均相同的第二通孔，导引板上分布有与下出气孔位置、形状和数量均相同的第三通孔，下出气孔、第一通孔、第二通孔和第三通孔同轴设置，从下出气孔喷射出的高温高压气体，依次经过第一通孔、第二通孔和第三通孔后，吹入导引板与被测晶圆之间；本发明能够同时抑制高电压环境下探针之间非正常放电和高温度环境下探针卡翘曲变形和探针位置漂移。

主权项：1.一种具有侧出气孔的功率器件高温高压测试用探针卡，其特征在于，从上到下依次设置进气系统（1）、PCB板（2）、转接层（3）、导引板（4）和探针（5）；所述进气系统（1）底部具有多个下出气孔（1-1）和侧出气孔（1-2），所述PCB板（2）上分布有与下出气孔（1-1）位置、形状和数量均相同的第一通孔（2-1），所述转接层（3）上分布有与下出气孔（1-1）位置、形状和数量均相同的第二通孔（3-1），所述导引板（4）上分布有与下出气孔（1-1）位置、形状和数量均相同的第三通孔（4-1），下出气孔（1-1）、第一通孔（2-1）、第二通孔（3-1）和第三通孔（4-1）同轴设置，从下出气孔（1-1）喷射出的高温高压气体，依次经过第一通孔（2-1）、第二通孔（3-1）和第三通孔（4-1）后，吹入导引板（4）与被测晶圆（6）之间；所述进气系统（1）还包括泄压孔（1-3），所述泄压孔（1-3）内壁攻有螺纹，并旋拧有调整件（1-5），所述调整件（1-5）包括截面为T形、中间具有通孔的接触端（1-5-1），环形磁铁（1-5-2）和上磁铁固定端（1-5-3），所述接触端（1-5-1）宽部侧壁套有螺纹，用于旋拧在泄压孔（1-3）内壁，窄部设置有环形磁铁（1-5-2），窄部侧壁套有螺纹，所述上磁铁固定端（1-5-3）内壁攻有螺纹，用于旋拧在接触端（1-5-1）窄部侧壁，接触端（1-5-1）宽部下方与上磁铁固定端（1-5-3）上方将环形磁铁（1-5-2）固定；所述泄压孔（1-3）内壁还旋拧有阀门件（1-4），所述阀门件（1-4）包括截面为倒T形、中间具有上窄下宽阶梯通孔的连接件（1-4-1），所述连接件（1-4-1）窄部侧壁套有螺纹，用于旋拧在泄压孔（1-3）内壁，所述阶梯通孔的宽部放置有圆形磁铁（1-4-2），所述圆形磁铁（1-4-2）上方粘贴有密封垫（1-4-3），侧壁设置有豁口，底部设置有豁口，侧壁豁口和底部豁口相连，阶梯通孔的宽部内壁攻有螺纹，并旋拧有中间具有通孔的遮挡环（1-4-4），圆形磁铁（1-4-2）在环形磁铁（1-5-2）的吸引和压缩空气的推动下，能够在遮挡环（1-4-4）上方上下运动；所述的侧出气孔（1-2）按照恒温空气流动方向，横截面积逐渐增大，在侧出气孔（1-2）的外端部，形状为宽度大于高度的矩形；在侧出气孔（1-2）的外端部下方，转轴连接有挡板（1-2-1），所述挡板（1-2-1）的另一侧边缘安装有拉绳（1-2-2），所述拉绳（1-2-2）从侧出气孔（1-2）的上方穿出，在侧出气孔（1-2）的上方，还设置有拉绳固定端（1-2-3），所述拉绳固定端（1-2-3）包括框架（1-2-3-1），设置在框架（1-2-3-1）中并能够沿框架（1-2-3-1）上下运动的固定板（1-2-3-2），位于固定板（1-2-3-2）下方和框架（1-2-3-1）底部上方的压簧（1-2-3-3），位于框架（1-2-3-1）上方的开关（1-2-3-4），所述开关（1-2-3-4）通过穿过框架（1-2-3-1）的支架（1-2-3-5）连接到固定板（1-2-3-2）上，拉绳（1-2-2）从固定板（1-2-3-2）的上方穿过框架（1-2-3-1），在压簧（1-2-3-3）的作用下，挤在固定板（1-2-3-2）与框架（1-2-3-1）之间，需要调整的时候，按动开关（1-2-3-4），使固定板（1-2-3-2）向下运动，调整拉绳（1-2-2），在调整好位置后，松开开关（1-2-3-4）即可。

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百度查询： 强一半导体(苏州)有限公司 一种具有侧出气孔的功率器件高温高压测试用探针卡

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